超精密製造においては、従来の機械的接触は精度の敵です。-セラミック エア ベアリングは、高圧-ガスのミクロ-層を利用して、完全に摩擦のない、摩耗ゼロの動きを実現することでこの問題を解決します。-組み合わせることで超-高-純度のセラミック材料ナノメートル-レベルの加工により、これらのコンポーネントは、半導体装置や高度な計測に必要な極めて高い速度、安定性、清浄性を実現します。
機械的接触の限界: なぜ空気を使うのか?
精密機器が進化するにつれて、従来の転動体ガイドの限界が顕著になってきています。{0}機械的接触により、摩擦、熱、微細な摩耗粒子が発生します。時間の経過とともに、低速での恐ろしい「スティックスリップ」効果、熱歪み、位置精度の徐々に低下が生じます。-
半導体リソグラフィーやウェーハ検査などの業界では、たとえ 1 ナノメートルのずれや漂着摩耗粒子でも、数{0}}数百万ドルの生産バッチを台無しにする可能性があります。-解決策は？非接触動作。-セラミック エア ベアリングは、物理的な接触を 3 ～ 20 ミクロンの安定した空気膜に置き換え、精度を根本的に再定義する摩擦のない動きを実現します。
材料の利点: UNPARALLELED® セラミックを使用する理由
すべてのエアベアリングが同じように作られているわけではありません。基板の材質が究極の性能を決定します。金属や標準的な花崗岩にも適していますが、ハイエンドの用途には、アルミナ (Al₂O₃)、炭化ケイ素 (SiC)、窒化ケイ素 (Si₃N₄) などの高度な工業用セラミックが必要です。-
UNPARALLELED グループでは、これらの先進的なセラミックのユニークな物理的特性を活用しています。
超-高い比剛性: セラミックは、スチールや花崗岩よりも大幅に軽量でありながら、並外れた剛性を備えています。これにより、構造が曲がることなく、より高い加速と減速が可能になります。
熱安定性: 先進のセラミックは信じられないほど低い熱膨張係数を誇ります。高速、年中無休の連続運転中でも、寸法安定性は損なわれません。-
絶対的な清潔さ: セラミックは錆びることがまったくなく、粒子状物質の発生もゼロであるため、ISO- 認定のクリーンルームや半導体環境では唯一の実行可能な選択肢となります。
精度の閾値: 1 μm 以上
エアベアリングの良さは、表面の平面度と平行度によって決まります。セラミックの表面に微細な欠陥があると、空気膜が揺らぎ、振動が発生します。
ここで UNPARALLELED のコアコンピタンスが輝きます。私たちは生のセラミックを供給するだけではありません。私たちはそれを完璧に機械加工します。当社の高度なダイヤモンド研削および研磨プロセスを利用して、1 μm 以上の超高精度を実現し、表面仕上げは光学品質に達します。{2}}数十年の経験に裏打ちされた当社の熟練職人が、すべてのセラミックスライダーとレールが厳格な国際規格 (DIN、ASME、JIS) を満たしていることを保証します。
さらに、当社の多孔質セラミック技術は空気の均一な分散を保証し、優れた静的および動的剛性を提供します。これにより、高速（最大 5m/s）および高加速（4G）条件下でもプラットフォームが完全に安定した状態を維持できることが保証されます。-
複雑なアプリケーション向けの多彩なカスタマイズ
精密機器では、既製の部品が使用されることはほとんどありません。{0}{1}セラミック製の直定規、四面直角マスター、XY ステージ、金属インサートが組み込まれたカスタムの多孔質セラミック フロートなどが必要な場合でも、当社がお届けします。-当社は、DWG、DXF、STEP、または手書きのスケッチによるカスタム デザインを、厳格な知的財産機密保持に基づいて受け入れます。
モーション コントロール システムを強化する
アプリケーションがゼロ摩擦、ゼロ摩耗、ナノメートル レベルの再現性を要求する場合、標準的な材料では太刀打ちできません。{0}}最先端のセラミック材料と世界クラスの精密機械加工を組み合わせたメーカーと提携します。-
UNPARALLELED® セラミック エア ベアリングを使用してモーション コントロール システムをアップグレードする準備はできていますか?カスタム要件について話し合ったり、技術的な相談をリクエストしたりするには、今すぐ当社のエンジニアリング チームにお問い合わせください。