「測定できなければ、生産することはできません。」この中核となるエンジニアリング哲学は、UNPARALLELED グループのリーダーシップによって支持され、当社の高度な製造および校正インフラストラクチャのあらゆる平方メートルを管理しています。サブ-ミクロンおよびナノメートル-レベルのエンジニアリングという要求の厳しい領域では、環境変数が究極の破壊要因となります。施設の外を大型車両が通過したり、HVAC の作動によるわずかな温度上昇や、標準的な天井クレーンからの微小振動が発生すると、高精度のキャリブレーション スキャンが即座に無効になる可能性があります。{6}
これらの目に見えない障害を克服するために、UNPARALLELED グループは、管理された世界クラスの計測エコシステムの構築に多額の投資を行ってきました。-運動、熱、大気の変数を分離することで、あらゆる構造ベース、エア ベアリング ガイド、および定盤が一致世界の半導体工場や国立研究所が要求するクリーンルーム運用基準を正確に満たしています。
ナノ-レベルの平坦性を達成するには、基礎から設計された基盤が必要です。当社の主要な組み立て、テスト、校正作業は、10,000- 平方メートル- メートルの恒温恒湿施設内で行われます。これは標準的な産業用倉庫ではありません。これは、微振動を克服するために厳格な民間仕様に基づいて構築された巨大な構造免震バンカーです。
まず、1,000 mm の軍用グレードのスラブについて考えてみましょう。-ワークショップの床全体には、最小厚さ 1,000 mm に達する特注の超硬コンクリートが注入されます。-この巨大な基礎は、局所的な地盤の沈下や、施設の床全体での 100 トンの重い花崗岩のブロックの移動によって引き起こされる構造のたわみを防ぎます。
次に、周囲に深い防振溝を設計しました。{0}}恒温ホールの周囲全体は、連続した機械的隔離バリアで囲まれています。-この特殊な防振トレンチの幅は 500 mm、深さは 2000 mm です。-エネルギー吸収制振材が詰め込まれており、外部の高速道路や鉄道交通によって発生する周囲の地上波を、敏感な試験エリアに到達する前に効果的に捕らえて消散します。
第三に、音響を抑制したサイレントクレーンを採用しています。標準的な産業用天井クレーンは、動作中にかなりの高周波の機械騒音と構造上のハム音を発生します。-この波のエネルギーを排除するために、当社の校正ゾーン内のすべての内部マテリアルハンドリングでは、カスタマイズされたサイレントクレーンが使用されています。これにより、近くの測定テーブルに振動を伝達することなく、重いコンポーネントを位置決めすることができます。
第 4 に、半導体クリーンルームのシミュレーションを維持します。この管理された設置面積内で、私たちは密閉された防塵{1}}専用のワークショップを運営しています。この部屋は、当社の高級半導体顧客の正確なクリーンルーム環境をシミュレートします。ここでは、当社のエンジニアが多軸花崗岩ベース、統合 XY テーブル、高精度エア ベアリングの最終組み立てとテストを実行し、浮遊微粒子がエア ベアリング スライダーの狭い隙間を傷つけないことを確認します。{{5}{6}{6}}
環境的に安定した部屋の信頼性は、その部屋内に配置された計測ハードウェアによって決まります。 UNPARALLELED グループは精度を推定しません。私たちは、世界をリードする計測学のパイオニアから調達した世界クラスの認定試験装置を使用してそれを検証します。-
当社のツールキットには、最小 0.5 um まで測定できるドイツの Mahr 社の高解像度ダイヤル インジケータ、スイスの WYLER 社の高精度電子水準器、動的直線性解析用の英国のレニショー社の先進的なレーザー干渉計、日本のミツトヨ社のデジタル ノギス、精密マイクロメータ、表面粗さ試験機が含まれています。-また、非接触構造追跡用の高度な誘導マイクロメーターも導入しています。-
重要なのは、コンプライアンスが当社の品質管理のベースラインであるということです。当社の 4 つの生産ラインに配備されているすべてのゲージ、電子水準器、レーザー干渉計には、正式な最新の校正証明書が付いています。--これらは済南計量研究所および山東計量研究所によって直接発行されます。
最も重要なことは、当社の地域および地域の校正標準は、国立計量研究所 (NIM) にまで完全に遡ることができるということです。お客様が-専門の半導体製造業者であっても、国家試験機関であっても-）当社の最終検査報告書を確認すると、完全に監査可能な世界的に準拠したデータが得られます。推測を排除することで、完全な自信を持ってシステムを導入できます。