高密度黒御影石気力ガイドウェイ プラットフォームの総合的な性能は、鉱物鋳物とどう比較されますか?{0}

1. 長期的な寸法安定性-
-航空静力プラットフォームの鍵となるのは、長期的な寸法安定性です。マイクロクリープや応力反発は均一なミクロンの空気膜を破壊し、位置ずれの原因となります。
比類のない高密度の黒御影石は、自然応力が完全に解放され、何億年もかけて形成されます。生のブロックは、20,000 ㎡の一定温度ヤードで-長期の静的老化が行われ、さらに、荒、中仕上げ、仕上げの研削後に層状の応力除去が施されます。-数十年経っても変形や表面の沈み込みはほとんどありません。
鉱物鋳物は、深い応力除去を行わずに室温で注入された樹脂-鉱物複合材料です。樹脂は、長い動的荷重と温度サイクルの下でゆっくりとクリープします。スチールインサートと複合材料の間の熱膨張の不一致により、持続的な内部熱応力が発生します。 1 ～ 3 年後には、平面の変形や穴のオフセットが現れ、再研磨や校正のために頻繁に停止する必要があります。
2. 熱安定性
空気静圧機器は温度変化に非常に敏感です。
黒御影石は熱膨張係数が5~7×10⁻⁶/度と低く、熱容量が大きく、温度応答が遅いのが特徴です。一定の温度に保たれた粉塵のない-作業場での-後処理エージング-により、熱膨張性能が統一され、季節や毎日の温度変化の中でも空気膜クリアランスが一定に保たれます。
鉱物鋳物の係数はおよそ 10×10⁻⁶/度 で、花崗岩の 1.5 倍です。樹脂の熱伝導率が低いと、局所的な加熱変形が不均一になり、ナノ位置決め精度が損なわれます。
3. 加工精度と表面性能
テーブルトップと T スロットの研削により、空気膜の均一性が決まります。-
当社独自の黒御影石はモース硬度 6 ～ 7 で、鋳鉄や鉱物鋳物よりも硬いです。大型精密研削盤と30+年間のベテラン職人によって加工され、ナノ-レベルの表面平滑性を備えたクラス00の平坦度に達します。 -非磁性で切削液の腐食に強いため、長期間使用しても傷や粉がつきにくく-、摩擦のない空気静力運動に完全に適合します。-
鉱物鋳物は柔らかい樹脂で結合した骨材であるため、平坦度の限界がはるかに低く、超微細な研削を実現することはできません。{0}{1}{1}摩擦により傷が発生し、気力静力微細孔を詰まらせる緩い凝集粉塵が発生します。溶剤や高温冷却液の下では樹脂が膨張したり剥離したりするため、クリーンな高精度の半導体やレーザーの製造が失敗します。-
4. 振動減衰
鉱物鋳造の減衰比は 0.02～0.07 で、花崗岩の 2～3 倍高く、短時間の激しい衝撃作業条件でも瞬間的な高周波振動を十分に吸収します。-
黒御影石は、均一な振動減衰を備えた緻密な連続結晶が特徴です。幅 500 mm-、深さ 2 m- の周囲の耐震溝と静かな-クレーンダスト-のない作業場と組み合わせることで、車両や重機からの低周波の外部振動を遮断します。-ほとんどの空気静力装置は、激しい衝撃を受けることなく、ゆっくりと滑らかなナノ往復運動を実行します。花崗岩の安定した減衰は、樹脂の老化によって年々減衰が減衰することなく、あらゆる要求を満たします。{9}}-
5. 剛性、耐荷重、寿命
空気静力プラットフォームには光学コンポーネント、ウエハー ステージ、リニア モーターが搭載されており、長期にわたる強力な剛性が求められます。{0}}
当社の花崗岩は、古代の地層から永久に変化しない機械的特性を備えた安定した弾性率を備えています。ギャップを接合することなく最大 20 m / 100 トンまで一体的に加工でき、数十年間のフルタイム運転でも均一な荷重に耐えることができ、崩壊や局所的な変形は発生せず、10+ 年間の安定した機器耐用年数に匹敵します。
鉱物鋳物は弾性率が低いため、同等の耐荷重を得るにはより厚いバルクが必要です。樹脂バインダーは時間の経過とともに老化し、高温多湿下で脆化や亀裂が発生し、骨材の接着強度や剛性が年々低下します。長年使用すると隠れた内部亀裂や構造の緩みが現れ、機器の耐用年数が大幅に短くなります。
6. コストの比較
ミネラル鋳造の利点
室温での注湯により、事前に埋め込まれたスチール スリーブと冷却パイプを使用して、大面積を研削することなく、複雑な中空形状を形成できます。{{0}{2}小ロットのカスタム特殊ベースはリードタイムが短く、金型の初期コストが低くなります。-
Granite の長期的なコストメリット-
機械加工後の永続的な寸法安定性により、毎年の校正のダウンタイムがなくなり、メンテナンスと再加工のコストが削減されます。
耐摩耗性と耐腐食性があり、粉末の脱落がなく、空気静力部品や光学レンズを汚染から保護します。
多国籍企業、研究所、半導体工場の輸出検査基準を満たすための完全なレーザー干渉計テストレポートを含む完全な認証パッケージ (ISO トリプルシステム、CE、半導体特別認証)。
当社のフルチェーンのエージング ワークショップと 20,000 平方メートルの原料ヤードは、長期にわたって追加の基板交換費用を発生させることなく、カスタムの超-大型超-プラットフォームをサポートします。-}
7. 該当するシナリオ
比類のない黒御影石気力静力プラットフォームをお選びください
-長期​​間のナノ位置決め精度、10 年以上の継続的な安定した動作、塵のないクリーンな環境を必要とするハイエンド空気静力装置。-半導体ウェーハ検査、リソグラフィ マスク アライメント、CMM 測定、フェムト秒 / ピコ秒レーザー加工、光干渉法。
ミネラルキャスティングベースを選択してください
一般的な CNC 工作機械、ローエンドの静水圧装置、複雑な中空特殊形状、長期的な寸法安定性の要件が低い-短期使用のデバイス-}。
結論
空気静圧ガイドウェイ プラットフォームの中心的な価値は、瞬間的な振動の低減ではなく、長期にわたる安定したナノモーション精度にあります。{0}}鉱物鋳物は、高い減衰と柔軟な特殊形状の鋳物を備えた一般的な工作機械には優れていますが、固有の欠陥（樹脂のクリープ、高い熱膨張、経年劣化、低い加工精度限界）により、長期にわたる高精度の半導体や超精密の光学機器には適していません。--
比類のない黒御影石は、古くからの安定した結晶構造、多段階の複合材老化、一定温度での耐衝撃性、防塵-の製造システムのおかげで、長期クリープゼロ、低熱膨張安定性、超高平坦度、摩耗と腐食耐久性など、かけがえのない利点を誇ります。-当社は、花崗岩のエージングと大型の一体加工プロセスの最適化を継続し、-世界のハイエンドの空気静力装置および半導体精密運動装置に安定した高精度リファレンス ベース ソリューションを提供していきます。{{7}{8}}