半導体検査プラットフォームには、高解像度のイメージングと欠陥検出をサポートするための超安定したベースが必要です。超精密コンポーネントのサプライヤーとして、UNPARALLELED は半導体検査装置用のカスタム花崗岩構造を提供しています。 Granite は、ウェーハおよびパネルの検査ワークステーションに複数の重要な利点をもたらします。
まず、花崗岩は熱膨張係数が非常に低いという特徴があります。半導体工場では、連続生産中にわずかな温度変動が発生します。花崗岩のベースは熱による変形を最小限に抑え、レンズやセンサーの位置ドリフトを防ぎます。安定したベースラインにより、ウェーハ欠陥スキャンの一貫した画像精度が保証されます。
第二に、検査には優れた振動減衰が重要です。現場での機械的振動により、光学画像がぼやけてしまいます。花崗岩は振動を素早く吸収します。精密調整ブラケットおよび計測ゲージと組み合わせると、長期にわたる AOI 検査において鮮明で再現性のある画像取得が維持されます。
第三に、天然花崗岩は、長期自然老化後の内部残留応力が無視できます。花崗岩のスライド テーブル、T スロット プレート、サポート フレームは、長年にわたって平坦性と真直性を維持します。短期的な精度クリープが大幅に低減され、半導体生産ラインの 24 時間 365 日稼働要件を満たします。
さらに、花崗岩は作業場の湿気や化学物質の蒸気に対して耐食性があります。金属鋳物のように錆びないので、日常のメンテナンスの負担が軽減されます。 CNC で事前に加工された穴、溝、取り付けインターフェイスは、センサーと光学アセンブリに完全にフィットします。現場での二次加工はほとんど必要ありません。
当社の花崗岩部品はすべて ISO および CE 規格に準拠しています。検査ツールは計測標準に準拠しています。当社の花崗岩構造は、世界的に有名な企業のパネルおよびウェーハ検査に貢献しています。
つまり、熱変形が少なく、優れた振動吸収性、長期的な寸法安定性、耐食性を備えた花崗岩は、半導体検査プラットフォームにとって理想的な基板となっています。 UNPARALLELED は、顧客の図面に基づいてワンストップのカスタム花崗岩ソリューションを提供します。