エンジニアが三次元測定機、レーザー システム、半導体ステージの構造ベースを指定するとき、最初の質問がブランドについてになることはほとんどありません。素材についてです。精密御影石 vs セラミックもう 1 つの一般的な比較として、鉱物鋳造 vs 花崗岩エンジニアが最初に実行する 2 つの検索は、花崗岩、セラミック、鉱物鋳造の 3 つの材料が超精密機器の主要な材料であり、それぞれが異なる状況で有利であるためです。{0}}この記事では、これら 3 つを並べて、実際に精度を決定する各寸法の比較表を示し、最後に独自の機器に適用できる選択ルールを示します。
なぜ材料の選択が精度を決めるのか
ベース素材は、あらゆる精度仕様においてサイレントパートナーです。温度によって構造がどれだけ動くか、振動が消えるまでの速さ、可動部品をどれだけ重くできるか、基準面をどれだけ平坦にできるかを設定します。制御ループはこれらの影響の一部を補償できますが、材料にはない平坦性、減衰、または熱安定性を生み出すことはできません。したがって、コントローラーに電源が投入されるずっと前に図面上で行われた選択によって、マシン全体が達成できることが制限されます。
黒御影石: 参照標準
花崗岩、特に高密度の黒御影石は、何十年にもわたって計測学の基準となってきましたが、それには十分な理由があります。{0}その密度は 3,100 kg/m3 近くにあり、動きに耐える質量があり、空隙率が低いため寸法安定性が保たれ、自然に細かい粒子がきれいな密封された表面にラップします。熱膨張は低く、1 ケルビンあたりおよそ 5 ~ 8 マイクロメートルであるため、一定温度の作業場で安定した状態を保ちます。-内部の減衰はスチールやセラミックよりもはるかに高いため、足音や近くの機械からの振動は測定中に鳴り響くことなくすぐに消えます。
UNPARALLELED では、密度が約 3,100 kg/m3 の黒御影石を選択しています。この特性により、表面プレートは長年使用してもグレード 00 の平坦度を維持できます。同じ石材を機械ベースやエア ベアリング レールに機械加工して、精密機器が依存する安定した制振基盤を形成します。- -その代償として、花崗岩は薄い部分では脆く、金属に比べて機械加工が遅いため、高速で細い構造物よりも大きくて剛性が高く、加速度が低い構造物に適しています。-
セラミック: 軽量精密オプション
セラミックは、炭化ケイ素やアルミナなどの精密機器に使用される形状で、異なる強度をもたらします。同じ剛性の花崗岩よりもはるかに軽く、摩耗や腐食に強く、ラッピング後も非常に良好な表面仕上げが維持されます。そのため、エア ベアリング レール、軽量ステージ、移動質量 1 キログラムごとに整定時間とエネルギーがかかる高速スキャン構造など、可動部品には当然の選択となります。-
限界はコストと脆さです。セラミックベースは大きなサイズで製造すると高価であり、亀裂が修復できることはほとんどありません。また、セラミックは花崗岩よりも減衰が低いため、通常、振動の多い工場内に単独で設置するのではなく、花崗岩または鉱物鋳造基礎と組み合わせて使用されます。-セラミックは、その低質量と高剛性がメリットとなる場所で使用されるため、比類のないものです。どこでも使用されますが、単純にコストがかかります。
ミネラル キャスティング: 振動-減衰値の選択
ミネラルキャストはポリマーコンクリートとも呼ばれ、石の骨材とエポキシバインダーを混合して単一の硬い形状に鋳造します。その最大の利点は減衰です。振動を鋳鉄よりも数倍吸収し、多くの場合花崗岩よりも優れており、複雑なカスタム形状に対して低コストで対応できます。機械加工ではなく鋳造であるため、リブ、チャネル、取り付け機能を 1 つの部品に統合することができ、組み立て時間が短縮され、接合部の緩みが軽減されます。
弱点は、御影石やセラミックよりも剛性と寸法安定性が低いこと、硬化と熱調整に時間がかかること、適切に配合されていない場合は温度と湿気に敏感であることです。絶対的な基準平面度よりも減衰とコストが重要となる工作機械のフレーム、ベース、コラムに適しています。-研磨された基準面自体ほど一般的ではありませんが、依然として花崗岩が続いています。
比較表
この表は、超精密機器にとって重要な 3 つの材料を寸法ごとにまとめたものです。-
| 寸法 | 黒御影石 | セラミック(SiC、Al2O3) | 鉱物鋳造 |
| 密度 | 約3,100kg/m3 | 約2,400~3,200kg/m3 | 約2,200~2,600kg/m3 |
| 熱膨張 | 低、5 ~ 8 um/mK | 非常に低いから低い、4 ~ 8 um/mK | 中、10 ~ 20 um/mK |
| 振動減衰 | 高い | 低から中程度 | 非常に高い |
| 剛性 | 高い | 非常に高い | 中くらい |
| 加工精度 | 優れたラップ平坦度、00級 | 優れた仕上げ、レールに最適 | 良好ですが、基準平坦度にはあまり適していません |
| 大規模なコスト | 適度 | 高い | 低から中程度 |
| 最適な使用方法 | リファレンス プレート、ベース、エア ベアリング レール- | 移動ステージ、軽量レール | 機械フレーム、防振ベース |
単一の列が 1 つの素材を最適にすることはありません。ダンピングは鉱物鋳造と花崗岩に有利です。剛性と軽さはセラミックに有利です。複雑な形状ではコストがかかるため、鉱物鋳造が有利です。そして、ラッピングされた基準面は依然として花崗岩に適しています。正しい答えは、機器が妥協できない特性によって異なります。
長い-形式と大きな部分の-現実
非常に大きな構造物の場合、写真は花崗岩や鉱物の鋳物に傾きます。複数メートルのベースはセラミックでは高価で壊れやすいですが、花崗岩は大型の機械で仕上げることができ(当社の施設では最大 20 メートルのセットアップ長さに対応しています)、鉱物鋳物を流し込んで成形することができます。-セラミックは、大型マシン上でも高速で移動するサブコンポーネントに最適です。--実際には、ハイエンド機器は多くの場合、花崗岩または鉱物鋳造の基礎、花崗岩の基準面、可動軸のセラミックなどのハイブリッドです。
選び方:簡単なルール
次の仕様を作成するときに、この決定ガイドを使用してください。
機器に安定した減衰基準面と、低コストで大きくて硬いベースが必要な場合は、黒御影石を選択してください。{0}これは、CMM ベース、計測プレート、およびほとんどの精密機械の基礎、特に平坦性と長期安定性が重要な場合に最も安全なデフォルトのままです。-
高速エア ベアリング レールやスキャン ステージなど、装置に剛性が高く、可能な限り軽量な可動構造が必要な場合は、セラミックを選択してください。{0}質量が速度と沈下を直接制限する場合は割増料金を支払い、振動制御のために花崗岩または鉱物鋳造の基礎と組み合わせてください。
機器にコストの最適化された減衰と複雑なカスタム形状が必要な場合は、鉱物鋳造を選択してください。{0}これは、統合された機能と振動吸収性が絶対基準平面度を上回る工作機械のフレームとベースに最適です。-
多くのプロジェクトでは、どれか 1 つを選択しません。最も強力な設計では、それぞれが最適な 3 つすべてを使用し、選択したサプライヤーは、単一の材料を押し出すのではなく、調整されたシステムとして花崗岩、セラミック、鉱物鋳物を提供できる必要があります。
よくある質問
精密機器にはセラミックより御影石の方が良いのでしょうか?
どちらが一般的に優れているというわけではありません。適度なコストで、大型で安定した減衰基準ベースを実現するには、Granite が最適です。セラミックは、軽量、剛性、高速で動く部品に最適です。-花崗岩のベースとセラミック レールは一般的な高性能の組み合わせであるため、通常、比較は全体のどの材料ではなく、機械のどの部分について行われます。-
どのような場合に花崗岩ではなく鉱物鋳造を選択すべきですか?
ラッピングされた基準面よりも減衰と形状の複雑さが重要であり、カスタム形状でのコストが優先される場合は、ミネラルキャスティングを選択してください。基準平面自体については、依然として花崗岩が優れているため、鉱物鋳造本体上の花崗岩の測定面は、頻繁に混合される設計です。
これらの材料を 1 台の機械で組み合わせることができますか?
はい、多くの場合そうです。鉱物鋳造または花崗岩の基礎には、可動軸にセラミックを備えた花崗岩の基準プレートが搭載されています。 3 つすべてを製造するサプライヤーと協力することで、異なるベンダーから調達された材料間のインターフェースの問題を回避できます。
花崗岩の基礎にとって密度は本当に重要なのでしょうか?
はい。 3,100 kg/m3 に近い密度が、黒御影石に安定性をもたらす質量と、緻密で密封されたラッピング表面を与えます。 -密度が低い石や大理石の代替品は、湿気が少なく、より吸収し、時間の経過とともにより多く漂います。そのため、花崗岩の証明書で密度が最初に確認される数値となります。
結論
花崗岩、セラミック、鉱物鋳物はそれぞれ超精密機器市場の一部を占めています。{0}黒御影石は、安定した、減衰された、平らなベースの基準であり続けます。質量を最小限にする必要があるセラミックリード。ミネラルキャスティングは、複雑な形状の減衰とコストの点で優れています。選択ルールは簡単です。安定した基準ベースが必要なので、花崗岩を選択します。光の速い動きの部品が必要な場合は、セラミックを選択してください。-コストを最適化した減衰力が必要な場合は、ミネラルキャストを選択してください。-複数の機器が必要な場合は、3 つすべてを 1 つのシステムとして提供するサプライヤーと協力してください。当社のチームは、御影石、セラミック、鉱物鋳造構造をお客様の市場が要求する基準に合わせて指定、機械加工、認証します。そのため、精度の目標をお知らせください。過剰な費用をかけずに、それを満たす材料の組み合わせを推奨します。






