エアベアリング花崗岩ベースはどのように動作精度とシステムの安定性を向上させますか?

エアベアリング花崗岩ベースは、高精度モーション システムを摩擦のない超安定したサポートを提供し、位置精度、再現性、振動減衰を向上させます。{0}{1}{1} UNPARALLELED® エア ベアリング花崗岩ベースは、ナノメートル- レベルのモーション制御と極めて高いシステム安定性を必要とする半導体、光学、オートメーション機器をサポートするように設計されています。

エアベアリング花崗岩ベースとは何ですか?

アンエアベアリング花崗岩ベース精密花崗岩の安定性と、可動コンポーネントを加圧空気の薄い層で浮遊させるエア ベアリング技術を組み合わせています。これにより機械的接触が排除され、摩擦、磨耗、振動が軽減され、高速かつ高精度の動作が可能になります。-

摩擦のない動きはなぜ重要ですか?

摩擦は、運動システムに非線形誤差、摩耗、熱をもたらします。-花崗岩ベースでエア ベアリングを使用することにより、次のことが可能になります。

動作はスムーズで再現性が高い

磨耗が解消される

システムのパフォーマンスは長期間にわたって維持されます

UNPARALLELED® エア ベアリング ベースは、超精密アプリケーションの動作精度を最大化します。-

Granite はどのように安定性をサポートしますか?

花崗岩は、寸法安定性、振動減衰、剛性を提供します。エアベアリングと組み合わせると:

熱ドリフトが最小限に抑えられます

振動は自然に吸収される

高周波のモーションエラーが減少します-

この組み合わせにより、CMM、光学ステージ、半導体検査システムにおけるナノメートル レベルの位置決め精度が保証されます。{0}

エアベアリングと従来のベアリングベースの比較

どのアプリケーションが最も恩恵を受けるでしょうか?

半導体ウェーハ検査

リソグラフィーステージ

光干渉法

超高精度の自動化-

CMM 高精度測定-

よくある質問

エアベアリング花崗岩ベースとは何ですか?
これはエア ベアリングを備えた花崗岩のプラットフォームで、摩擦のない高精度の動作を可能にします。{0}}

なぜ花崗岩とエアベアリングを組み合わせるのでしょうか?
花崗岩は剛性と安定性を提供し、エアベアリングは摩擦と摩耗を排除します。

これらの塩基はナノメートルレベルの再現性を達成できますか?{0}}
はい、適切に設計された UNPARALLELED® ベースはナノメートルレベルの動きをサポートします。-

エアベアリング花崗岩ベースは高速動作に適していますか?{0}}
はい。エア ベアリングにより、誤差を最小限に抑えながらスムーズで高速な動きが可能になります。{0}}

メンテナンスは必要ですか?
主に空気の供給と清浄度のために必要なメンテナンスは最小限です。

エアベアリング花崗岩ベースを使用しているのはどの業界ですか?
半導体、光学、精密オートメーション、計測学、超精密製造。{0}}