指定された平坦度グレードを満たしていない御影石定盤を受け取ることは、精密機器の調達において最もコストがかかり、避けるべき問題の 1 つです。 UNPARALLELED® は、半導体工場の品質管理者から大学計測センターの検査技術者までのバイヤー - - が納品を受け入れる前に花崗岩定盤をチェックする方法を理解できるように、この平坦度検証ガイドを編集しました。主要な検査方法 (オートコリメータ、電子レベル、反復読み取りテスト)、有効な測定に必要な環境条件、および「グレード 00」プレートが実際にグレード 1 と同様に機能する原因となる最もよく見落とされる 3 つの詳細について説明します。このガイドを使用して、UNPARALLELED® の出荷を確認したり、注文書に署名する前に花崗岩のサプライヤーを精査したりしてください。
花崗岩定盤の受入検査が交渉の余地のない理由-
花崗岩定盤は基準面です。それらの平坦度は、他のすべての測定の基準となるゼロ基準を定義します。グレード 00 の定盤が平坦度公差を超えて到着した場合、その定盤に対して実行されたすべての測定は系統的に間違っていることになり、-、品質部門が実際には公差内にあった規格外の部品を見つけるまでエラーを発見することはできません。--、またはその逆の場合も同様です。
これは理論上のリスクではありません。輸送中の温度変動、不適切な梱包、荷降ろし時の衝撃荷重、および場合によっては材料の代替（UNPARALLELED® が断固として参加を拒否している花崗岩 - として販売されている大理石）などのすべてが、施設に到着する前に定盤の認定された平面度から逸脱する原因となる可能性があります。唯一の保護策は、受領時に配送確認書に署名する前に平坦性を確認することです。
始める前に必要なもの - 有効な測定のための環境条件
の平坦度測定精密御影石定盤制御された条件下で発生する必要があります。倉庫に到着したばかりのコールド プレートを測定しても、意味のない結果が得られます。- 5 度の温度差による熱膨張により、プレートが室温で完全に平坦であっても、大きなプレートでは見かけの平坦度に数ミクロンの偏差が生じる可能性があります。
測定する前に、次の条件が満たされていることを確認してください。プレートは、配達後少なくとも 4 時間、できれば 24 時間、室温 (公称 20 度) で空調管理された部屋に置いておく必要があります。-。測定環境には、直射日光、エアコンの風、近くの機械や人の往来などの振動源がないことが必要です。プレートの表面は清潔でなければなりません - 測定前に、糸くずの出ないワイパーとイソプロピル アルコールを使用して、ほこり、破片、指紋の油分をすべて取り除いてください。-
UNPARALLELED® は、すべての表面プレートに熱平衡指示を梱包ラベルに印刷して出荷します。ぜひフォローしてください。
方法 1 - オートコリメータ テスト (最も正確ですが、機器が必要です)
オートコリメータは、光ビームを投影し、その反射戻り角を測定することにより、反射面の角度偏差を測定する光学機器です。これは、DIN 876、ASME B89.7.3.1、およびグレード 00 およびグレード 0 検査のほとんどの国際定盤規格で指定されている主要な方法です。
オートコリメータ テストを実行するには、次の手順に従います。花崗岩の定盤オートコリメータの支持点 (通常は両端から長さの約 1/5 の位置に 3 点) を取り付け、表面をきれいにして、オートコリメータの一方の端を安定した三脚に設置します。反射ビームが接眼レンズに戻るまで機器を傾け、測定値を記録します。オートコリメータを規格で指定された各グリッド点 (通常は 5 × 5 または 6 × 6 の測定点のグリッド) に移動し、各点での角度偏差を記録します。直線単位での平面度偏差は、該当する規格の標準公式を使用して角度測定値から計算されます。
オートコリメータをお持ちでない場合は、UNPARALLELED® の担当者に問い合わせて、社内測定による検査オートコリメータ データを入手してください。-納品書類に同梱されますので、独自に計算を検証できます。-
方法 2 - 電子レベルテスト（工場検査のための実用的）
UNPARALLELED® 検査で使用されるスイス ワイラー電子水準器 - など、分解能 0.5μm/m の電子水準器 - は、オートコリメータ テストよりも高速で、専門的なトレーニングの必要性が少ない実用的な平坦度検証方法を提供します。
プレートをその支持点に置きます。電子水準器を、該当する規格で指定されている測定モードに設定します。規格で指定されているように、各ステーションでレベルを 180 度回転させて、プレート表面の平行線に沿ってペアの読み取り値を取得します。データを記録し、平坦度偏差を計算します。ほとんどのグレード 0 およびグレード 1 の検査では、この方法が完全に適切であり、最も一般的に使用される工場検証方法です。
UNPARALLELED® では、社内のグレード 0 およびグレード 1 検査プロトコルにワイラー電子水準器を使用しており、オートコリメータ検証はグレード 00 認証用に予約されています。{0}
方法 3 - 反復読み取りテスト (クイックチェック、精度は限定的)
繰り返し読み取りテスト（スリー スラブ法またはテスト プレート法とも呼ばれます）では、2 つの表面をわずかな圧力を加えて配置したときの干渉パターンを観察することで、検査対象の表面を既知の基準表面と比較します。この方法は高速で電子機器を必要としませんが、絶対的な平坦度の値ではなく、表面が互いに近いかどうかを示す定性的なものです。-。
簡単な受信チェックには、繰り返し読み取りテストを使用します。同じグレードの既存の認定定盤をお持ちの場合は、新しい定盤と向かい合わせに置き、薄いティッシュ ペーパーでそれらを分離し、スライドさせて引き離してみてください。{0}}-明らかなエアギャップの感触がなく、互いに「くっついている」場合、新しいプレートは基準に近い可能性があります。顕著なギャップや揺れを感じた場合は、詳細なオートコリメータまたは電子レベル測定のためにフラグを立ててください。
この方法は機器による測定に代わるものではありませんが、出荷を受け入れるか拒否する前に便利な迅速なフィルターです。
定盤の受け入れにおいて最も見落とされがちな 3 つの詳細
UNPARALLELED® の職人と品質エンジニアは、30 年以上にわたって数千枚の花崗岩の定盤を検査した結果、実験室の平坦度測定に合格した場合でも、実際には定盤が故障する原因となる 3 つの問題を特定しました。
最初に、サポート ポイントの位置決めを行います。認定されたサポート ポイント上で平らな表面プレートを、平らでないベンチや代替サポート上に置くと、大きな反りを示す可能性があります。常にメーカーが指定したサポート ポイントを使用し、ベンチの表面が十分な剛性と水平であることを確認してください。
2 番目: 表面全体の温度勾配。 20 度に制御された部屋で表面プレートを測定し、毎日 18 度から 26 度の間で温度を繰り返す作業場に置くと、熱サイクルごとに測定可能な反りが生じます。グレード 00 の用途では、温度管理された部屋に恒久的に設置することが事実上必要です。{6}}
3番目：取り扱いによる表面の損傷。重いゲージや機器を花崗岩の定盤 - に落とすと、たとえ数センチメートルの高さからでも - 作業面が欠けたり、局所的な圧痕 (圧力マーク) が生じ、測定結果が歪んだりする可能性があります。初めて使用する前に、十分な照明の下、低い角度で表面を検査し、欠け、亀裂、または表面の凹凸がないか確認してください。
UNPARALLELED® が出荷前に平坦性をどのように検証するか
UNPARALLELED® 花崗岩定盤はすべて、発送前に社内検査室で検査されます。{0}}検査プロセスは次の順序で行われます。気候-制御された検査室での最低 12 時間の熱平衡化、レーキライト下での表面の洗浄と目視検査、該当する標準グリッドに対するオートコリメータまたは電子レベルの測定、平坦度偏差の計算と等級公差との比較、機器の校正証明書番号を含む校正レポートの生成です。
グレード 00 プレートの場合、オートコリメータの測定データは保存され、合否結果だけでなく生の角度測定値や計算ワークシートも含めて、リクエストに応じて購入者が利用できます -。これを含めたのは、一部のバイヤーの品質部門が独自の計算を独立して実行したいと考えているためです。
受入検査で問題が見つかった場合の対処方法
入荷検査でプレートが許容範囲外であることが示された場合は、使用しないでください。写真、測定データ、納品書類との相違を文書化します。すぐに UNPARALLELED® の担当者にご連絡ください。- 当社には標準的な不適合対応プロセスがあり、通常、次に利用可能な製品の生産サイクル内で交換品が発送されます。-
UNPARALLELED® 保証は、プレートが当社の取り扱い説明書に従って保管され、取り扱われている場合に限り、製造時に存在した平面度の偏差をカバーします。輸送中に損傷したり、不適切に保管された - の表面プレートは保証しません。これが、署名前に検査するもう 1 つの理由です。
よくある質問
Q1: 花崗岩定盤は納入後どのくらい平衡状態になってから測定する必要がありますか?
A: 約 20 度の気候制御された環境で最低 4 時間。-グレード 00 プレートの場合は、24 時間が推奨されます。低温トラックから納品された直後にプレートを測定すると、熱膨張により誤解を招く結果が生じます。
Q2: グレード 00 の定盤の平坦度を検証するにはどのような装置が必要ですか?
A: 適切なアクセサリを備えた高分解能オートコリメータ（分解能 0.5 秒角以上）、または分解能 0.5μm/m のスイス ワイラー電子水準器-。どちらの機器も、国立計量研究所に追跡可能な最新の校正証明書を持っている必要があります。 UNPARALLELED® 検査装置は、中国国家計量研究所の追跡が可能な山東計量研究所を通じて校正されています。
Q3: オートコリメータの読み取り値から平坦度偏差を計算するにはどうすればよいですか?
A：計算方法は該当する規格（DIN 876、ASME B89.7.3.1、JIS B7513など）で定められています。各規格では、グリッド パターン、測定方向、計算式が指定されています。 UNPARALLELED® には、すべてのグレード 00 の出荷に測定データのワークシートと計算文書が含まれているため、購入者は個別に検証できます。
Q4：御影石定盤は洗浄後すぐに使用できますか？
A: 表面をきれいにしてから、測定するか基準表面として使用する前に、少なくとも 30 分間平衡状態にしてください。イソプロピル アルコールで洗浄すると表面が一時的に冷却され、サブ- レベルで表面に一時的な歪みが生じる可能性があります。
Q5: 花崗岩の定盤はどのくらいの頻度で再校正する必要がありますか?
A: ほとんどの ISO 17025 認定研究所は、使用強度に応じて、グレード 00 プレートを毎年、グレード 0 プレートを 2 年ごと、グレード 1 プレートを 3 ～ 5 年ごとに再校正します。 UNPARALLELED® は、当社の施設で製造されたプレートの再校正サービスを提供します。
Q6: UNPARALLELED® は、重要な用途に対する初品検査レポートを提供していますか?-
A: はい。重要な用途を持つ OEM バイヤー向けに、- 半導体装置、航空宇宙計測学、国家実験室規格 - UNPARALLELED® は、詳細な測定文書、統計的プロセス管理データを含む初品検査レポートを提供します。-、場合によっては製造中の現場または第三者による立会い検査-も提供します。-
CTA
完全な検査を自信を持って御影石定盤を注文する準備はできていますか?平坦度グレード、寸法要件、および該当する規格を指定するには、UNPARALLELED® にお問い合わせください。注文書に署名する前に、検査プロトコルと文書パッケージを確認します。