アドバンストセラミックは半導体製造装置の未来となるのか?

1. 高速ダイナミクスに対応する高い剛性対-重量比-

リソグラフィーやボンディングでは、コンポーネントは遅延ゼロで高速に移動する必要があります。アドバンスト セラミックスは、スチールよりも大幅に軽量でありながら、極めて高い剛性 (高いヤング率) を提供します。これにより慣性が低減され、ウェーハハンドリングシステムの位置決め精度を損なうことなく、より高速な加速と減速が可能になります。

2. 比類のない熱伝導率と安定性

半導体プロセスでは局所的な熱が発生します。炭化ケイ素のような材料は優れた熱伝導率を備え、熱を素早く放散して局所的な変形を防ぎます。これにより、セラミック真空チャックとウェーハステージが完全に平らな状態を保ち、重要な UV 露光ステップ中に焦点面を維持することができます。

3. 耐摩耗性と化学的慣性

セラミックはダイヤモンドとほぼ同じ硬さです。この耐摩耗性により、可動部品は粒子を発生させることなく、信じられないほど長い耐用年数を確保できます。さらに、その化学的慣性により、フロントエンドの半導体処理で使用される過酷なエッチング ガスや洗浄剤との互換性が得られます。-

セラミック材料の比較

FAQ: 主要な質問への回答

なぜアルミナの代わりにSiCを使用するのでしょうか? SiC は剛性が高く、熱伝導率が優れていますが、コストは高くなります。

セラミック部品は壊れやすいですか?脆い一方で、圧縮強度は非常に高いため、精密荷重に最適です。

このセラミックスはどのような業界で使用されていますか?主に半導体、航空宇宙、レーザー切断産業。

カスタムのセラミック形状を作成できますか?はい、複雑な機械部品向けのカスタム OEM セラミック加工を提供しています。

最大サイズはどれくらいですか?セグメント化された接合により、最大 1,000 mm 以上の大型セラミック構造部品を製造できます。{0}

セラミックには特別な洗浄が必要ですか?耐薬品性に​​優れているため、クリーンルームでの使用でも洗浄が非常に簡単です。