リニア モーターとエア ベアリング ガイドは、超精密モーション プラットフォームの中核を形成します。-摩擦のない動作、高速応答、ナノレベルの位置決め性能を実現します。-しかし、多くのエンジニアは、ベース基板に起因する隠れた干渉を見落としています。磁気障害は、最も過小評価されやすいリスクの 1 つです。ベースが磁性を備えている場合、リニア モーターの動作中に生成される磁場がベースと相互作用し、余分な磁力が発生します。これにより、動作経路の逸脱や位置決めのジッターが発生し、エア ベアリング ガイド特有のスムーズで抗力のない動作が直接損なわれます。{8}} -非磁性 CNC 花崗岩ベースは、このような電磁干渉の問題を解決する理想的なリファレンス キャリアとして機能します。
金属ベースは一般に磁気伝導性があります。消磁処理後でも、リニア モーターの高周波往復運動では渦電流効果と磁気吸引力が依然として発生します。-この目に見えない磁気干渉により、エアベアリングステージにわずかなトラクション変動が発生し、位置決めの再現性が低下します。長時間の-高速スキャンと継続的な測位中にエラーは蓄積され続けます。-通常の石材には強磁性鉱物の不純物が含まれているものがあります。一見非磁性のように見えますが、精密な電磁環境では弱い磁気応答を示し、リニア モーターとエア ベアリング ガイドを組み合わせたプラットフォームの厳しい要件を満たせません。
UNPARALLELED が採用した高級黒御影石は、本来は非磁性であり、強磁性成分をほとんど含んでいません。{0}}リニアモーターの磁場とは結合しません。プラットフォームの動作中、磁気抵抗や渦電流加熱などの余分な干渉はありません。エアベアリングガイドは浮遊し、設計された軌道に沿ってスムーズに移動します。この機能により、モーション システム全体は、磁気干渉によって引き起こされる位置ずれを追加で補償することなく、モーションの姿勢制御のみに集中する必要があります。
非磁性は単に基本的なしきい値にすぎません。-ベースの剛性と面形状精度もリニアモーターとエアベアリングガイドの動作限界を決定します。エア ベアリング ガイドは、ミクロンスケールの空気膜を使用してサスペンションを実現しています。{3}ベースの基準面に局所的な変形や平面欠陥があると、空気膜の厚さが直接変化し、サスペンションの高さが不安定になります。 UNPARALLELEDのCNC御影石ベースには精密な機械加工と時効処理が施されています。高密度で安定した基板を特徴とするこれらの製品は、長期間にわたって高い平坦性を維持し、安定した空気膜を確保するためにエア ベアリング ガイドに連続的かつ均一なサポート基準を提供します。
半導体 XY モーション ステージ、光学検査、精密計測機器などのアプリケーションでは、リニア モーターとエア ベアリング ガイドが複雑な電磁環境内で同時に動作することが多く、ベースに対してより包括的な要件が課せられます。一方で、非磁性の花崗岩のベースは磁気干渉を隔離します。-一方で、高い材料剛性により、モータの急起動時に発生するベースの微振動-も抑制されます-。二重保護により、モーション プラットフォームはより速い応答速度とより高い位置決め分解能を実現します。
多くの機器メーカーは、試運転中にのみ磁気干渉の問題を発見します。後の段階でベースを改修するには、非常に高いコストがかかります。プロジェクトの初期設計段階で非磁性 CNC 花崗岩ベースを選択すると、発生源からの電磁結合リスクが回避され、機械全体の試運転が簡素化され、後の精度補正のための作業負荷が軽減されます。-