半導体クリーンルーム-グレードと一般工作機械-グレードの花崗岩の材料選択基準を区別する方法

半導体検査装置、リソグラフィー装置、リニアモーターステージ、精密工作機械の需要の高まりにより、御影石の選択に関して混乱が広がっています。多くのメーカーが通常の工作機械用花崗岩を半導体クリーンルームに供給していますが、これにより粒子の脱落、イオンの浸出、熱精度のドリフト、細孔汚染が引き起こされ、生産歩留まりが低下します。 UNPARALLELED® は、クリーンルーム部門と一般機械加工部門の両方にサービスを提供するフルスペクトラムの超精密基板サプライヤーとして、機器メーカーをガイドするための鉱石源、物理的性能、クリーンルームへの適合性、加工と検査を網羅する定量化可能なグレーディング基準を開発しています。
UNPARALLELED は、両方のグレードに自社開発の高密度黒御影石 (約 3,100kg/m3) を使用しており、個別の鉱石選別ルールが適用されます。-
一般的な工作機械用の花崗岩には、貫通亀裂のない緻密な岩石（密度 2900kg/m3 以上）のみが必要です。小さな微細孔は許容されます。-基本的な自然な老化で十分です。 PCB ドリラー、標準 CMM、CNC ベースに適合し、作業場の粉塵や温度変動に耐えます。
クリーンルーム-グレードの花崗岩には、吸水率が 0.1% 以下で、緩い結晶クラスターのない、高品質で均質な鉱石が必要です。長期にわたる自然老化と段階的な一定温度による応力緩和を経て、温度サイクル下での微小変形が解消されます。-ウェーハ汚染を回避するには、放射能および金属イオン浸出試験が必須です。粉塵が発生し ISO 5/6 クリーンルーム基準を満たすことができない小規模工場で製造される安価な大理石や低密度の花崗岩とは異なり、UNPARALLELED は「不正行為、隠蔽なし、誤解を招くことなし」という約束に沿って材料を厳密に分類します。
物理的インジケータは、DIN、ASME、JIS、GB 規格に従って 2 つのグレードを区別します。
工作機械-グレード: 線膨張 7×10⁻⁶/度以下、モース硬度 6.5 以上、ショア硬度 70 以上、Ra 0.32～0.63μm、DIN876 グレード 0/1 に準拠、剛性と基本精度を重視。
クリーンルームグレード：ナノ研磨（Ra0.05μm以下）により熱膨張を4×10-6/度以下に抑え、粉塵の付着を低減します。ゼロの微小孔により、ほぼゼロの吸水性が実現され、拭き取り後の粒子の脱落もありません。-より高い減衰により、ナノメートルのウェーハ位置決めにおける微振動が抑制され、100 回の温度サイクル後も変形が 0.5μm 未満に抑えられ、長時間にわたる精度のドリフトを防ぎます。-
独自のクリーンルーム適合性テストは、クリーンルーム-グレードの花崗岩にのみ適用されます。
パーティクル放出テスト: クリーンルーム製品には厳しい制限があり、パーティクルカウンターは繰り返し拭いた後に 0.1μm のパーティクルを測定します。
イオン浸出試験: 金属イオンの放出量が少ないため、ウェーハの短絡やレンズの汚れが防止されます。{0}}
表面シール: 特殊な低ガス放出コーティングが微細な隙間を埋めます。-工作機械の花崗岩は、シーリングを行わずに単純な研磨のみを行っています。
処理環境には明確な違いがあります。
工作機械の花崗岩は、一般的な研磨剤とクーラントを使用して通常の CNC ワークショップで機械加工され、低コストの機械ベース用に 4 台の台湾 Nante グラインダーで大量生産されます。-
クリーンルーム-グレードの花崗岩は、厚さ 1,000 mm の防振コンクリート床と深さ 2 メートルの衝撃溝を備えた 10,000 平方メートルのクラス 10,000 恒温クリーン ワークショップで完全に処理されます。-静かな天井クレーンとダストフリーのダイヤモンド研磨材が採用されており、30+ 年間のベテラン研削盤がナノ鏡面研磨を行っています。ワークピースは隔離されたクリーンな組み立てゾーンで老化し、生産コストが大幅に高くなります。
差別化された多段階の出荷検査およびトレーサビリティ システムにより、迅速な識別が可能になります。{0}
-工作機械の花崗岩は、ミツトヨの標準ゲージを使用して 3 つの基本的な幾何学的テスト（サイズ、平坦度、垂直度）を簡単な寸法レポートとともに受けます。
クリーンルーム-グレードの花崗岩は、粒子の放出、イオンの浸出、吸水、熱変形を含む完全な追跡可能なテストを受けています。 Mahr 0.5μm ダイヤル ゲージ、レニショー レーザー干渉計、WYLER レベルなどの測定機器は、地方自治体の計量研究所まで追跡可能です。各ワークピースには、厳格な半導体サプライヤーの監査に合格するための完全なライフサイクルテスト記録を保存する固有のシリアルコードが付いています。
ISO トリプル システム、CE 認証、20 を超える世界特許を備えた UNPARALLELED は、2 つのグレードの花崗岩を世界中に供給しています。工作機械グレードの製品は、Bosch、THK、HIWIN、および国内の CNC メーカーに提供されています。クリーンルーム-グレードの基板は、Samsung、Apple、Akribis、STI Semiconductor、Flex のペロブスカイト コーティング、フェムト秒検査、AOI および X- 線のクリーン ラインをサポートしています。研究開発チームは、NUS、長春光学研究所、世界的な計測機関と協力して、クリーンルームのグレーディング基準を毎年更新しています。
「精密ビジネスはあまりにも厳しいものであってはなりません」という品質方針と「あえて最初に、勇気を持って革新する」という精神を遵守し、UNPARALLELED は花崗岩のグレーディングを標準化して混合材料の使用を排除し、精度の損失とクリーンルーム汚染を削減し、世界の超精密産業を前進させ、超精密産業の発展を促進するという使命を果たします。-