最新の精密検査システムでは、センサーとプローブによって収集されたすべてのデータは、安定した信頼できる幾何学的原点に依存しています。多くの機器開発者は、プローブ精度の最適化とセンサーのサンプリング周波数の向上に重点を置いていますが、基準キャリアに起因するエラーを見落とす傾向があります。最高級のプローブであっても、基準面がわずかに変形すると、すべての測定データに系統的な偏差が生じます。高平坦度の花崗岩検査ベースは、この基礎的なサポート役割を担い、さまざまなセンサーやプローブ用の安定した信頼性の高いリファレンス キャリアを継続的に構築します。 UNPARALLELED グループは、超精密コンポーネントの研究開発と製造に基づいて、光学、半導体、計測検査装置用のセンサーやプローブの使用条件に適合する花崗岩基準ベースの開発を続けています。{6}
センサーとプローブの測定ロジックは基本的に比較測定です。プローブで取得した寸法、輪郭、位置データはすべてベースプレート表面を基準原点とします。金属プラットフォームは温度変化により膨張および収縮する傾向がありますが、通常の石の内部応力は継続的に解放され、プレート表面のゆっくりとした変動とプローブのゼロドリフトにつながります。このようなドリフトはすぐには現れませんが、温度変化や振動によって蓄積され、センサーの繰り返し位置決め精度を悪化させ、複数のテストで同じワークピースの測定結果に一貫性がなくなる原因となります。緻密な結晶構造と優れた熱安定性を備えた UNPARALLELED® 黒御影石は、温度変動によって引き起こされるプレートの反りを最大限に抑制し、基準面の長期安定した幾何学的形状を維持します。これにより、センサーとプローブのすべてのコレクションが一貫した変更されていない基準に基づいて構築されることが保証されます。{4}}
プローブやセンサーの種類が異なると、基準面の微小状態に対する要件も異なります。{0}接触プローブには、平坦で耐摩耗性と耐傷性-のあるプレート表面が必要です。レーザー センサーと光学イメージング センサーでは、局所的な反射や表面欠陥による光学イメージングの干渉を避けるために、基準面の均一で安定した微細形態が必要です。-通常の加工プレート上の加工ラインや細孔欠陥は、光学センサーのイメージングを妨げ、さらには接触測定ヘッドのプローブの異常摩耗を引き起こす可能性があります。 UNPARALLELED グループは、勾配超精密研削プロセスを採用し、御影石プレート表面の微細成形と気孔封止処理を行っています。高い平坦度インジケータを実現しながら、プレート表面の微細テクスチャを最適化し、接触プローブと非接触光学センサの両方のアプリケーションの要求を満たし、基準面の微細欠陥によって引き起こされる測定ノイズを回避します。
動的検査作業条件下では、振動干渉がプローブやセンサーに直接伝わり、測定誤差が増幅されます。 AOI 外観検査、XY リニア モーター プラットフォーム、レーザー輪郭スキャンなどのシナリオでは、プローブは高速で動作します。振動によってベースがわずかに揺れると、センサー信号に乱雑さが現れます。高い平坦性は単なる静的な指標ではありません。ベース全体の剛性と防振能力も同様に重要です。 UNPARALLELED グループは、ベースの構造設計段階で、装置全体の荷重と組み合わせた機械シミュレーションを実施し、ベースのリブのレイアウトと肉厚を最適化して全体の剛性を向上させ、合理的なサポート スキームと協力して外部振動の伝達を弱めます。基準プレート表面に伝わる振動を低減し、プローブのスキャンやセンサーのサンプリング中の基準の安定性を保証し、動的測定のランダム誤差を低減します。
計測のトレーサビリティの一貫性は、センサーやプローブに使用される基準面の核となる価値を表します。機器の工場での校正と定期的な現場検証では、どちらもベース プレートの表面に基づいたプローブの校正が必要です。-基準面の平坦度に地域的な偏差が存在する場合、異なる位置で校正されたプローブ パラメータに一貫性がなくなり、地域間のワークピース検査中に偏差が発生します。-完成品の検査段階では、UNPARALLELED グループはレーザー干渉計と高精度電子水準器を使用して、プレート表面の全領域のグリッド サンプリングとマッピングを実施し、全領域の平面輪郭を完全に記録します。-これにより、プレート全体が均一に高い平坦度基準に達していることが保証されます。-すべての測定ツールは国家計量機関まで遡ることができ、基準自体にトレーサビリティがあることが保証され、センサーとプローブの校正結果の信頼性と再現性が高まります。
半導体検査や PCB の精密検査から新エネルギーのリチウム電池検査シナリオに至るまで、センサーとプローブはより高い分解能とより高速なサンプリング速度を目指してアップグレードされ続けており、リファレンスキャリアの要件が継続的に高まっています。プローブの精度が高ければ高いほど、基準によってもたらされる誤差の重みが高くなります。 UNPARALLELED グループは、計測機関やハイエンド機器企業との長年にわたる協力経験に基づいて、花崗岩の基材の選択、成形、検査のシステム全体を継続的に最適化しています。-安定した高平坦度のプレート表面を基礎となる幾何学的基準として利用し、さまざまな高精度センサーやプローブを搭載し、世界的な超精密検査装置の強固な測定基盤を構築します。{{6}