リニア モーター ステージ、エア ベアリング運動軸、レーザー微細加工機などの超精密機器では、高速往復運動やモーション アセンブリの起動停止衝撃時に動的負荷が常に発生します。{{3}多くの機器の精度低下は、モーターやガイド レール自体が原因ではなく、動作コンポーネントを搭載する基板の剛性が不十分なことが原因です。力が加わると小さな変形が発生し、運動の軌道を直接妨害します。高剛性の精密御影石マウンティング プレートの中心的な使命は、安定したキャリアとして機能し、精密モーション アセンブリのセット全体をしっかりとサポートし、動的変形を抑制し、モーション システムの精度ベースラインを保護することです。
剛性とは単に板厚を意味するものではありません。真の高剛性設計には、モーション アセンブリの取り付け点、荷重方向、始動停止衝撃力と組み合わせた全体的な構造の最適化が必要です。-たとえ金属ベースが厚くなっても、動的荷重下では依然として弾性変形が起こりやすく、振動の減衰が遅くなります。振動が持続して振動し、動作軸の位置決め応答が遅くなります。花崗岩基板の緻密な結晶構造は、固有の高い剛性と優れた減衰特性を備えています。外力による変形が少なく、振動エネルギーを素早く分散します。モーション アセンブリの開始と停止によって発生する微振動はすぐに減衰し、繰り返しの位置決め精度を損なう振動の継続的な重畳を防ぎます。{8}}
精密モーション アセンブリを運ぶと、動的荷重下で幾何学的形状を保持する基板の能力がテストされます。モーション アセンブリはプレートの穴領域に固定されます。ボルトの仮締め力と運動機構の往復慣性力が基板の局所的に継続的に作用します。基板の剛性が不十分な場合、局所的な圧縮により凹みや反りが発生したり、ガイドレールの真直度がずれたり、モーションプラットフォームにピッチやヨーが発生します。構造が最適化され、応力老化によって処理された高剛性の花崗岩取り付けプレートは、局所的な集中荷重を均等に分散します。継続的な動的衝撃下でも、基板基準面は、モーション アセンブリの往復運動によって引き起こされる持続的な変形がなく、安定した状態を保ちます。
移動距離が長い運動機器では、基板の剛性に対してより厳しい要件が課されます。-ロングストロークのリニアモータプラットフォームでは、可動ユニットが基板上のさまざまな位置を移動し、負荷は場所によって変化します。通常の低剛性プレートは、荷重が移動すると動的たわみを生じ、その結果、さまざまな位置で一貫性のない位置決め誤差が生じます。材料自体の高い弾性率と、合理的なプレートのリブ構造およびサポート レイアウトの組み合わせのおかげで、高剛性の花崗岩取り付けプレートは、自重と動的荷重によって引き起こされるたわみをミクロン レベルで制御し、全移動範囲にわたってモーション アセンブリの安定したベアリング ベンチマークを保証します。{6}}
剛性設計では、長期的な動作安定性も考慮する必要があります。{0}一部の材料は短期的には剛性基準を満たしますが、交流荷重に長期間さらされるとクリープが発生し、リファレンスのゆっくりとした変形につながります。-花崗岩はクリープがなく、一定温度および交互負荷条件下でもその幾何学的形状を長期間維持できます。適切なサポート スキームを使用すると、エア ベアリング、リニア モーター、グレーティング読み取りヘッドなどの精密運動部品を安定して搭載できるため、後の機器校正の頻度が減り、機器の一貫した長期動作が保証されます。-
さまざまなロングトラベル高精度モーション プラットフォームの要求を満たすため、UNPARALLELED は基板設計段階で剛性シミュレーション評価を完了し、プレート構造と荷重分散を最適化します。{0}基材のスクリーニング、応力除去、全面研削プロセスを通じて、当社は高剛性の花崗岩取り付けプレートを製造しています。{3}当社は、リニア モーターやエア ベアリング スライドなどの精密モーション アセンブリを安定して搭載し、動的変形や振動を抑制し、精密モーション システムの信頼できるベアリング ベンチマークを提供します。-