先進的な半導体パッケージング、ペロブスカイト ソーラー コーティング、自動光学検査（AOI）などの分野がミクロン スケールの製造の限界を超えているため、これらの機械が組み立てられる物理的な作業スペース自体が重要なエンジニアリング変数となっています。{0}}
リソグラフィ システムや高速リニア モーター ステージが動作する場合、完全に不活性な環境が必要です。{0}数百メートル離れた配送トラックの通過や、天井クレーンの低周波ハムでも、地面の揺れが発生し、サブミクロンの位置合わせが歪む可能性があります。- UNPARALLELED® では、世界最高級の花崗岩コンポーネント、エアベアリング、組立ベッドを構築するには、これらの環境力学を完全に隔離する製造環境を構築する必要があることを認識しました。
計測-グレード施設の構造
重要な組み立ておよびテスト段階での構造的および環境的干渉を排除するために、当社の特殊な恒温恒湿クリーンルーム ワークショップ（10,000 平方メートルに及ぶ）は、厳しい軍用グレードの建築仕様を使用して構築されました。-
1. 1000mm 超硬質コンクリート基礎-
標準的な工場の床の厚さは通常 150 mm ～ 300 mm です。当社の精密組立ホールの床は、最小厚さ 1,000 mm に達する頑丈な超硬鉄筋コンクリートで鋳造されています。-この巨大な質量はローパス機械フィルターとして機能し、高周波の地面振動が花崗岩の構造物や組み立て治具に到達する前に減衰させます。-
2. 周囲の衝撃吸収溝 (-防振溝)
重要な測定ゾーンを周辺施設の動きから切り離すために、当社の専門ワークショップの周囲全体が専用の衝撃吸収トレンチによって隔離されています。{0}}これらの溝は幅 500 mm、深さ 2000 mm で、地表を通るせん断地震波と表面地震波の伝達線を遮断します。
3. サイレントクレーンによる音響的および動的静音化
従来の工場用天井クレーンは、駆動ギアやレール接触部を通じて重大な音響ノイズと機械ノイズを発生させます。気候管理ゾーン内のすべての天井クレーンは、高度にカスタマイズされた静かな走行クレーンです。{{1}これにより、音響結合による頭上の構造振動が防止されます。花崗岩の定盤以下は、敏感な接着剤による接着またはエアベアリングのキャリブレーション中です。
-UNPARALLELED® 精密環境の断面図
===================================================================
[Silent Crane] --->低騒音・スムーズな走行 ─────────────────────
【御影石組立ベッド】<-- Kept at Constant Temp/Humidity ───────────────────────────────────────────────────────────────────
[1000mm 超硬質コンクリート床] │ [500mm x 2000mm 耐衝撃トレンチ] │
▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓ │ 🚪 (地球の振動を減結合) ===================================================================
次世代の半導体およびリニア モーター プラットフォームをサポート-
この世界クラスのインフラストラクチャにより、当社のチームは要求の厳しいシステム向けの複雑な多軸アセンブリを構築できるようになります。-
ペロブスカイト スロット-ダイコーター: 均一な膜厚を保証するために、長い移動距離にわたって超平坦な軌道が要求されます。-
産業用 CT および X 線スキャン ベース-: 絶対的な構造安定性により、きれいでぼやけのない体積再構成が保証されます。
高速 XY リニア モーター プラットフォーム: 3100 kg/m3 の黒御影石の高い減衰により、構造共振によるサーボ ループの微調整の中断を防ぎます。{2}}
UNPARALLELED® は、製造施設の熱、音響、振動の変数を制御することにより、製造中に機械ベースに組み込まれた精度が、エンド顧客の工場現場に導入されたときにも完全に損なわれないことを保証します。{0}}