半導体の顧客が訪問すると、御影石から質問が始まることはほとんどありません。彼らは部屋から始まります。温度はどのくらい安定していますか?トラックが屋外を通過するとき、床はどのくらい振動しますか?最終組み立て中の部品の周囲の空気はどの程度きれいですか?これらは無駄な質問ではありません。ミクロンおよびサブミクロン範囲の公差を保持する必要がある機器を構築する人にとって、環境は作業の背景ではありません。-それは、作業が可能かどうかを決定する変数の 1 つです。
この記事では、温度と湿度が管理されたワークショップの扉を開き、その各部分がなぜ存在するのかを説明します。
環境が機械の一部である理由
精密ベースはミクロン単位で測定されますが、これらの数値が意味を持つのは、管理された条件下で製造された場合のみです。花崗岩は温度が変化すると動き、テーブルはその下の床が揺れると揺れ、表面は誰にも見えない粒子によって汚染される可能性があります。これらのいずれかを無視すると、完璧な部品でも拒否される可能性があり、さらに悪いことに、そうでない場合は良品として出荷される可能性があります。当社の半導体および光学製品の顧客にとって、環境を制御することは、信頼できる測定値と単に安心感を与えるだけの測定値の違いとなります。
床ではなく基礎のように作られた床
すべては地面の上にあるので、そこから制御が始まります。私たちのメインの作業場では、軍用グレード仕様の厚さ約 1,000 mm の硬化コンクリート床を使用しています。-この厚さと硬さは重量を支える以上の役割を果たします。重くて硬いスラブは、軽い床がその上に立っているものに伝える小さなたわみや低周波の動きに抵抗します。そのため、機械や部品は、わずかに弾力のあるベースではなく、真に安定したベースの上に留まります。-
防振溝
たとえ頑丈な床であっても、外部、通行する車両、隣の機械、または歩いている人からの振動が伝わる可能性があります。その経路を遮断するために、作業場は幅約 500 mm、深さ約 2,000 mm の防振溝で囲まれています。これらの溝は、地面の振動が測定領域や組み立て領域に伝わる連続的な経路を遮断します。これは単純なアイデアですが、精度を追求して設計されたワークショップと、単純に作られて使用されるワークショップとを区別するのは、ローテクで高価値のディテールです。-溝は完成品では目に見えませんが、周囲に生命が存在し続ける間、繊細な測定値が安定するのはこのためであり、最初から組み込むよりも後から追加する方がはるかに困難です。
静かなクレーンと制御された動き
環境を乱さずに大きな花崗岩の部品を取り扱うこと自体が問題です。数トンの部品を建物に衝撃を与えずに持ち上げて配置する必要があるためです。{0}}基地の輸送が建物の設計上避けるべき邪魔にならないよう、重量物をスムーズかつ静かに移動できるように設計された静音クレーンを使用しています。部品を安全かつ穏やかに移動することは、その後の測定を有効に保つことの一部です。
温度と湿度の管理
組立および最終検査エリアは、クリーンルームに対応するように設計され、半導体装置が満たすことが期待される条件に基づいて設計されたワークショップ内で、安定した温度と湿度に保たれます。-安定した温度により、花崗岩の表面は加工の瞬間から測定の瞬間まで成長または収縮することがないため、当社が記録した数値がお客様に提供される数値となります。同じ理由で湿度の管理も重要です。湿度に関連した寸法変動を制限し、公差が最も厳しく部品の許容度が最も低い最終段階で表面をきれいに保ちます。{4}}
これらの条件は偶然に任せられるものではありません。部屋は監視され、その環境は一日中作業範囲内に保たれます。午前中は安定していて、午後には暖かい作業場は、どちらの状態でも同じ許容範囲を信頼できるわけではないからです。部品が完成して検証されると、測定された条件が記録の一部となるため、顧客は結果だけでなく、その部品が製造された環境も確認できます。
クリーン、静か、検証可能
その結果、温度、湿度、振動、粉塵など、精度を静かに損なうものを意図的に管理する作業場が誕生しました。これにより、サブミクロンの精度で測定し、結果を裏付けることが可能になります。-環境が信頼できない場合、データも信頼できません。信頼できるデータがなければ、実際に販売できる精度はありません。環境管理は製造プロセスを飾るものではありません。それがプロセスに意味を持たせるのです。
これがプロジェクトにとって何を意味するか
制御された環境でそれ自体が動作する装置を指定する場合は、その内部のベースと基準面を構築し、一致する条件下で測定する必要があります。機械加工、手作業での仕上げ、検査を行うときは-カスタム精密花崗岩コンポーネントそして精密御影石定盤、温度、振動、清浄度が管理された部屋で行い、その状況を数値とともに記録します。図面と機器が動作する環境をお送りください。どのように構築して測定するか、またその環境が仕様の一部である理由を説明します。