人々が半導体製造をイメージするとき、クリーン ルーム、シリコン ウェーハ、石ではないリソグラフィー マシンを想像します。{0}}しかし、工場や PCB 工場の最も繊細なツールの多くの下には、精密に研磨された花崗岩のスラブが置かれており、故障するまで誰も気づかないような仕事をしています。{2}}
チップおよび基板メーカーが「サイレント」ベースを必要とする理由
半導体リソグラフィー、ウェーハ検査、および PCB 穴あけはすべて、他の何よりも重要な要件を 1 つ共有しています。それは、機器を設置するベースが、たとえ人間の髪の毛よりもはるかに小さい量であっても、動いたり、振動したり、歪んだりしてはいけないということです。最新のチップや高密度 PCB が使用するフィーチャー サイズでは、熱や振動負荷の下でベースが数ミクロンでも変動すると、層の位置ずれ、穴あけオフセット、または検査エラーが発生する可能性があります。-
花崗岩は、ほとんどの材料が適合できない方法でこの要件を満たしています。
非磁性: 磁気エンコーダ、リニア モーター、または敏感な電子機器を使用する機器の近くでは、磁気ベースが読み取りに干渉する可能性があるため重要です。
低熱膨張: クリーンルームの温度がシフトごとにわずかに変動しても、ベースを平らに保ちます。
高い振動減衰: 近くの機器、HVAC システム、さらには歩行者からの微振動も吸収します。{0}
-長期的な寸法安定性: 鋳造金属や溶接金属とは異なり、完成した花崗岩には、長年の使用によって緩和される内部応力がありません。
どこに現れるか
花崗岩のベースとコンポーネントは、以下を含む半導体およびエレクトロニクスの製造ライン全体に使用されます。
PCB の穴あけと配線マシンベース
ウェーハ検査およびAOI（自動光学検査）プラットフォーム
ファブ計測で使用される三次元測定機
ウェーハハンドリング用のXYテーブルとリニアモーターステージ
フェムト秒およびピコ秒レーザー加工プラットフォーム
工業用 CT および X{0}} 検査装置の基地
組み立てチャレンジ
この業界の精密花崗岩コンポーネントは、単一のブロックであることができないことがよくあります。-多くのアセンブリでは、複数の花崗岩の部品、エア ベアリング、および金属インターフェースが結合されており、これらは接着され、サブミクロンの公差で位置合わせされる必要があります。-この種の作業は通常、半導体クリーンルームの原則に基づいてモデル化された、恒温で塵-が管理された専用の組立室で行われます。これは、浮遊微粒子でさえも精密な接合プロセスに影響を与える可能性があるためです。
成長するアプリケーション: 新エネルギー電池の検査-
半導体製造工場で使用されているのと同じ花崗岩ベースの技術が、新エネルギー電池の製造に移行しています。{0}そこでは、リチウム電池の検査およびコーティング装置（ペロブスカイト コーティング ラインを含む）には、高スループット、高精度の検査のため、同様に安定した非磁性のプラットフォームが必要です。-
将来に向けて
チップの形状と PCB 配線密度が縮小し続けるにつれて、ツールの下の機械構造に利用できる許容誤差の予算も縮小し続けています。花崗岩の役割 - は目に見えず、地味だが基礎的なものである - は、減少するのではなく成長する可能性があります。
UNPARALLELED グループは、半導体、PCB、新エネルギー検査装置メーカー向けに精密御影石コンポーネント、御影石アセンブリ、御影石エア ベアリングを供給しており、単一コンポーネントの生産能力は最大 100 トン、長さ 20 メートルです。{0}