超精密構造コンポーネントの専門サプライヤーである UNPARALLELED は、ウェーハ検査システム向けにカスタマイズされた安定性の高い花崗岩プラットフォームを提供し、半導体顧客がクリーンルーム環境で再現可能で信頼できる欠陥検査結果を取得できるように支援します。
ウェーハ検査では、ベースの安定性に対して厳しい要件が求められます。わずかな振動や微妙な温度変化でも光学イメージングに干渉し、小さなチップ欠陥の誤判定を引き起こす可能性があります。検査機の基礎基板として機能する花崗岩のプラットフォームは、光学アセンブリ、センシングユニット、および補助計測アクセサリの設置をサポートします。
これらのプラットフォームには高級黒御影石原料が採用されています。自然な低熱膨張特性と優れた振動吸収性能を備えたこの材料は、十分な自然時効を経て内部応力を除去します。手作業による精密なラッピングにより、優れた平坦性と幾何学的一貫性を確保し、長期の連続運転を実現します。あらかじめ形成された取り付け穴、位置決め溝、T スロットにより、V ブロックを含む精密調整ブラケットや計測ゲージを直接組み立てることができ、顧客サイトでの余分な再作業を回避できます。
すべての花崗岩のプラットフォームは、ISO および CE の品質管理フレームワークに基づいて製造されています。完成品は、CNAS 標準に準拠した計測ツールを使用して完全に検査され、ご要望に応じて公式の検査証明書を提供できます。このプラットフォームは、24 時間稼働でも安定したパフォーマンスを維持し、ウェーハ スキャン プロセス中の位置ドリフトを効果的に抑制します。
UNPARALLELED は、世界的に有名な企業や研究機関との豊富なプロジェクト経験をもとに、技術評価、材料の選択、精密仕上げ、性能検証、安全な出荷を含むフルセットのサービスを提供します。さまざまなウェーハ検査装置のレイアウトに合わせて、カスタムの寸法と構造レイアウトを利用できます。
半導体のクリーンルーム作業条件では、低変形の花崗岩プラットフォームが外部からの妨害を最小限に抑えます。これらは、高精度のウェーハ欠陥検出タスクのための信頼できる基礎構造として機能します。