エアベアリングは専門部品であり、エアベアリングを探すエンジニアは通常、何が必要かをすでに知っています。花崗岩エア ベアリングは、花崗岩の精密加工、加圧空気膜ベアリング、高精度モーションという 3 つの分野が融合したものです。-この記事では、エアベアリングとは何か、花崗岩がエアベアリングの材料として選ばれる理由、従来のメカニカルガイドウェイとの比較、エアベアリングが使用される場所、および花崗岩の表面自体をほとんどのショップが到達できないレベルまで機械加工する必要がある理由について説明します。製品自体も統合パッケージへと成熟しています。御影石構造、エア ベアリング、リニア モーター モーション ステージが 1 つの半導体-と計測学-グレードのプラットフォームに組み合わされています。これはまさに真剣な購入者を UNPARALLELED のようなサプライヤーに導く検索の類です。
エアベアリングとは何ですか?
エア ベアリングは、2 つの表面の間にある加圧空気の薄膜を使用して動きをサポートします。ボール、ローラー、または滑り接触の代わりに、可動部品がフィルム上に浮いているため、荷重経路内に固体間の接触はありません。--フィルムを維持する圧力は、きれいな濾過された圧縮空気源によって供給されます。-フィルムの厚さはわずか数マイクロメートルです。そのため、フィルムが置かれる表面自体が非常に平らでなければなりません。実際的な結果は次のとおりです実質的に摩擦のない動き: 克服すべき摩擦がほとんどなく、スティック スリップもほとんどないため、ステージは予測どおりに開始、停止、安定することができ、機械的なガイドによって発生する微細なジャダーを発生させることなく、指示された位置を保持できます。-花崗岩エア ベアリングは、単純なエア ベアリング システムです。-その基準面とガイド面がモノリシック花崗岩本体にカットされているため、空気膜は金属ではなく花崗岩の上に乗ります。
花崗岩がエア ベアリング システムに使用される理由-
花崗岩のいくつかの特性により、花崗岩は空気支持面の自然ホストとなっています。{0}表面の平坦度は研削と手作業によるラッピングによって得られ、花崗岩は寸法的に安定しているため、ずれることなくその平坦度が維持されます。熱膨張が低いということは、店舗が一日中暖かくなってもベアリングのギャップがあまり変化しないことを意味します。これは、空気膜の厚さがわずか数マイクロメートルであるため重要です。高い振動減衰により浮遊面の静粛性が保たれ、精密機械加工により、ガイド、取り付けシート、測定基準を 1 つの安定した部品で 1 つの本体に搭載できます。花崗岩は耐摩耗性もあり、スチールとは異なり、クリーンルーム内でコーティングする必要がないため、座面はゆっくりと劣化するのではなく、長年にわたってそのままの状態を保ちます。
花崗岩のエアベアリングと従来の機械式ガイドウェイの比較
違いは、精度が要求される場合に最も顕著に現れます。以下の表は、ステージが長期間その仕様を維持できるかどうかを決定するプロパティに関する 2 つのアプローチを比較しています。
| 財産 | 花崗岩エアベアリング | 従来のメカニカルガイドウェイ |
|---|---|---|
| 摩擦 | ほぼゼロ | プレゼント（連絡先） |
| 着る | サービス中なし | プログレッシブ |
| 汚染 | クリーンエアのみ、潤滑剤なし | 粒子と潤滑 |
| メンテナンス | 低い | 定期的 |
| 動きの滑らかさ | 高い | 良い |
| 精度・再現性 | 高い | アプリケーションに依存する |
御影石エアベアリングの用途
摩擦のない動き、ナノメートル クラスの滑らかさ、安定した非磁性、錆びないリファレンスの組み合わせにより、御影石エア ベアリングは、明確な高価値マシンのデフォルトの選択肢となっています。-
半導体装置、精密ステージ、リニアモーターステージ、光学検査、計測、レーザー装置、ウェーハ検査および研究装置。これらの機械は、各部品が他の部品が提供する安定性に依存するため、御影石構造、エア ベアリング、リニア モーター モーション ステージが一緒に設計された 1 つの統合パッケージとして見られることが増えています。-これらのそれぞれにおいて、ベアリングはサポート部品ではなく測定チェーンの一部であるため、その安定性が機械が解決できる基準を設定します。粒子を排除しながらナノメートルの再現性でペイロードを移動させる必要があるプロセスでは、通常、その答えは花崗岩のエアベアリング ステージです。-
空気軸受面に非常に精密な花崗岩の機械加工が必要な理由-
空気膜の厚さはわずか数マイクロメートルであるため、花崗岩のうねり、平面度誤差、表面欠陥はそのままフローティングステージに転写されます。したがって、花崗岩は通常の作業場の許容範囲をはるかに超えて機械加工する必要があります。研削により形状が決まります。ハンドラッピングにより座面は鏡のような平坦性と真直性を実現します。-また、フィルムがストローク全体にわたって均一に保たれるように、対向する座面間の平行度を維持する必要があります。粗さによって空気の流れが妨げられるため、表面仕上げは重要であり、すべての面が想定されるのではなく測定されるからです。これは、ほとんどのサプライヤーが停止するステップですが、比類のないものは継続されます。花崗岩のエアベアリング表面の研磨面が浮き上がって初めて良さが決まるため、素材だけでなく加工も製品となります。
UNPARALLELED® による花崗岩のエア ベアリング コンポーネントの製造方法-
UNPARALLELED® は、長さ 20,000 mm、幅 4,000 mm、厚さ 1,000 mm までの単一の花崗岩コンポーネントを機械加工し、個々の部品は約 100 トンに達するため、エア ベアリング本体をブロックから組み立てるのではなく、一体の部品として製造できます。-モノリシック構造は安定性の源です。構造を柔らかくする接合部がなく、温度によって動く界面もありません。研削と手作業によるラッピングは 30 年以上の経験を持つ職人によって行われ、すべての座面は温度管理された作業場で Mahr、Mitutoyo、WYLER、Renishaw の機器を使用して検証されており、DIN、ASME、JIS、GB、BS、GOST に準拠しています。{11}}
エア ベアリング ステージのプロジェクトはありますか?{0}}図面と技術的要件をお送りください。どのように構築するかをお伝えします。花崗岩のマシンベースステージに必要な座面を備えています。