半導体装置の精密御影石ベースとは何ですか?

May 27, 2026 伝言を残す

半導体製造には非常に高い精度が要求されます。

最新のウェーハ検査システムや半導体製造装置は、多くの場合、ミクロンまたはナノメートルレベルの許容差で動作します。{0}}たとえ小さな熱変形や振動であっても、システムのパフォーマンスに影響を与える可能性があります。

このため、精密御影石製マシンベースは半導体装置に欠かせない部品となっています。

半導体マシンが使用する理由花崗岩の構造物

Granite は、半導体アプリケーションにいくつかの重要な利点をもたらします。

これらの特性により、半導体装置は安定した位置決め精度を維持できます。

半導体製造環境では厳密な寸法管理が必要です。

精密御影石は熱膨張係数が低く、温度変化による変形を軽減します。

一般的な花崗岩の熱膨張:

4.6×10⁻⁶/度

この安定性は次の場合に重要です。

半導体システムでは、非常に高い平坦性と動作精度が必要です。

一般的な精度仕様には次のようなものがあります。

精密御影石ベースにより、連続運転時でも安定した位置決め性能を維持します。

花崗岩の構造は以下の分野で広く使用されています。

UNPARALLELED® は、半導体およびハイテク産業向けの超精密御影石コンポーネントを製造しています。{0}}

当社の製造能力には以下が含まれます。

当社の花崗岩構造は、世界中の先進的な半導体および計測アプリケーションで使用されています。

花崗岩は、高精度の半導体システムに熱安定性、振動減衰、寸法安定性をもたらします。

超精密御影石ベースは、アプリケーション要件に応じてミクロンレベルの平坦性を実現できます。{0}

超精密用途の場合、花崗岩は一般に、多くの金属構造よりも優れた熱安定性と振動減衰を提供します。