UNPARALLELED グループでは、ナノメートル レベルの平坦性と安定性を実現できる高精度花崗岩プラットフォームを設計しています。{0}}ただし、これらの世界クラスのコンポーネントの整合性は、ISO-認定施設-から出荷されるずっと前から設置基盤から始まります。-高度な計測から半導体リソグラフィーのベースに至るまで、高精度アプリケーションの場合、プラットフォームの下の床は単なるサポートではありません。それは測定システム自体の拡張です。基礎の準備が不十分だと、プラットフォームの認定精度が損なわれ、最高級の花崗岩の基礎であっても効果がなくなる可能性があります。
重要なトリオ: 平坦性、荷重、安定性
超-高精度の花崗岩プラットフォーム-、特に当社の高密度-UNPARALLELED® Black Granite（密度 ≈ 3100 kg/m3）を使用するプラットフォームの基礎を設計するには、-平面度、耐荷重能力、アクティブな 3 つの重要な要件を厳密に遵守する必要があります。- 沈下防止/振動制御。-
1. 基礎の平坦性：応力と歪みの除去
基礎の表面の平坦性の主な機能は、花崗岩のプラットフォームがあらゆる点または取り付け位置で均一に支持されるようにすることです。わずかな欠陥でも花崗岩の構造内に応力が発生し、微妙ではあるが壊滅的な変形を引き起こし、必要な平面精度を損なう可能性があります。
花崗岩のベースは調整可能なジャッキまたは 3 点支持システムを使用して水平に保たれますが、これらの機構は最終的な微調整を目的として設計されており、床の大幅な凹凸を補正するためのものではありません。{0}コンクリートまたは鋼製の基礎表面の初期平坦度公差は、1 メートルあたり少なくとも ± 0.1 mm とすることをお勧めします。 -当社の長さ 20 m のマシンベースのような-大規模かつ最も要求の厳しい用途では、サポート フィートが完全かつストレスなく確実に係合するように、二次レベリング用の精密グラウトまたは特殊なシムを使用することが不可欠です。-
2. 耐荷重-: 静的重量を超える
UNPARALLELED の材料の優れた密度を考慮すると、花崗岩プラットフォームの静的重量はかなりのものになります。基礎は、通常 1.5 ～ 2.0 の範囲の安全係数で、プラットフォームの自重と最大動作荷重 (機器、ワークピース、固定具) を加えたものに耐えるように計算する必要があります。-
さらに重要なのは、基礎が局所的な圧力に耐えなければならないことです。プラットフォームの支持脚の下にある接触点により、荷重が小さな領域に集中します。基礎となる構造は、これらの重要な荷重点の下での局所的な潰れや微小沈下を防ぐのに十分な堅牢性を備えていなければなりません。-荷重を適切に分散することが、基礎とその上の花崗岩の基礎の両方の構造的完全性を維持する鍵となります。
3. 沈下防止と振動絶縁: 究極の安定性テスト
これはおそらく、特にナノメートルスケールの測定精度を達成するプラットフォームにとって最も重要な要件です。- -長期にわたる不同沈下-により基礎の一部が他の部分よりも沈下すると、花崗岩の基礎が永久に歪みます。-
必要な安定性を達成するには、基礎は巨大なモノリシック コンクリート ブロックとして設計される必要があり、安定した地盤層に到達し、熱的安定性と慣性安定性を最大化するには、多くの場合 500 mm$ を超える深さが必要です。重要なのは、基礎に堅牢な防振対策を組み込む必要があります。当社独自の 10,000 ㎡ の温度管理されたワークショップで実証されているように、これは多くの場合、厚さ 1 メートルを超える超硬質コンクリートで基礎を鋳造し、周囲に物理的隔離溝 (幅約 500 mm、深さ 2000 mm) を構築することを意味します。-この隔離トレンチは、隣接する機械、生産エリア、外部交通からプラットフォームの作業環境への低周波振動の伝達を防ぎ、真に安定した測定基盤を確保します。{10}
比類のない取り組み
当社の基本理念は「測定できなければ生産できない」です。この原則は、当社の製品を設置する環境に直接当てはまります。平面度、耐荷重、絶縁に関する厳格な基準を遵守することで、ユーザーは、UNPARALLELED® Granite Platform に固有の精度が、何十年にもわたる要求の厳しい計測作業においても利用可能で信頼性が維持されることを保証します。-