UNPARALLELED LTD は、中国のリニアガイドアセンブリの大手メーカーおよびサプライヤーの 1 つです。豊富な経験により、当社の工場から中国製の高度なリニアガイドアセンブリを購入することを心から歓迎します。カスタムオーダーも承ります。

高速半導体位置決めステージや光学検査ガントリーを構築する場合、モーションコントロールの信頼性は、モーションコントロールが滑る基準面と同程度です。微細な機械的偏差は、焦点のぼやけ、センサーの遅れ、キャリブレーションエラーに直接影響します。

UNPARALLELED®-超精密花崗岩エアベアリングベースは、当社独自の高密度黒御影石の地質学的安定性とカスタム設計のリニアガイドトラックを組み合わせたものです。-摩擦のない動きを実現するように設計されたこのモノリシックアセンブリは、世界で最も要求の厳しいクリーンルーム用途の構造基盤として機能します。従来のスチールガイドの機械的ヒステリシス、潤滑依存性、ベアリング摩耗を取り除くことで、連続的な高加速サイクル下でもナノメートルレベルの公差を維持する生涯にわたる参照標準を提供します。-

なぜ UNPARALLELED® 天然黒御影石なのか?

すべての石が同じように作られるわけではありません。多くの地域製造業者は、環境の変化によって反る、より柔らかく安価な灰色の大理石に依存していますが、当社は材料の代替に対して妥協のない姿勢を保っています。

すべてのベースは、当社が厳選した UNPARALLELED® Black Granite 埋蔵量から採石されます。約 3100 kg/m3 の超高密度を誇るこの素材には、石英が豊富に含まれた緻密で絡み合った結晶構造が含まれています。信じられないほど低い熱膨張係数 (CTE)、構造用鋼の最大 10 倍の振動減衰、錆や化学腐食に対する完全な耐性を実現します。文字通り、何百万年もの間地球によって熟成され、残留内部応力がゼロであることが保証されています。

品質管理

技術仕様と規格

当社は、ISO 9001、ISO 45001、ISO 14001、および CE 認証を同時に取得する業界唯一のメーカーです。すべてのアセンブリは、厚さ 1,000 mm の軍用{10}}グレードの防振基礎の上に構築された 10,000 平方メートルの気候管理された施設（20 度 ± 0.1 度）で処理されます。{6}{11}これにより、測定結果は環境ノイズから完全に隔離されます。

技術的パラメータ	仕様値	規格への準拠
材質の種類	本物の UNPARALLELED® 黒御影石	密度: ≈ 3100 kg/m3
平面度公差	サブ-ミクロン/ナノメートル-レベル（グレード 000 まで）	DIN 876 / ASME GGG-P-463C
ガイドレールの真直度	< 1.0μm over 1000 mm	レニショーレーザーによる計測検証
表面粗さ（Ra）	0.1μm以下（鏡面仕上げ）	ミツトヨデジタル粗さプロファイル
ねじ付きインサート	ステンレス鋼 / インバー-グレードのインサート	ストレスを防ぐためのポストプロダクションのためのエポキシ接着-
最大コンポーネント重量	最大100トン（単体ブロック）	完全に統合された天井クレーンの能力
最大単一次元	20m×4m×1m（カスタマイズ可能）	世界クラスの-研削センターで加工

サービス

コアパフォーマンスの利点

統合されたステップ付きエアベアリングトラック: 精密に研磨された横方向のショルダーにより、エアベアリングパックは水平面と垂直面の両方を同時に参照できます。-これにより、移動するキャリッジのピッチ、ロール、ヨーの完璧な制御が保証されます。
摩擦のない、摩耗のない寿命: エアベアリングは加圧された薄い空気膜 (5 - 10μm) 上に浮いているため、物理的な接触はありません。花崗岩ガイドの構造精度は、10,000 日目でも 1 日目と同じままです。
--最先端の-計測検証: 私たちは精度を推測しません-それを証明します。スイス-製の WYLER 差動電子水準器 (0.5um) とレニショーのレーザー干渉計を使用して、マイクロメートル単位の平坦度をマッピングします。すべてのアセンブリには、国立計量研究所まで追跡できる校正証明書が付属しています。
クリーンルームおよび真空対応: 機械潤滑剤、グリース、ガス放出ポリマーを含まないこの花崗岩ベースは、ISO クラス 1 半導体リソグラフィーおよびウェーハ製造環境に直接統合する準備ができています。

証明書

202208091040467d082c4aa1244741a6cbe9cf34845264

代表的な産業用途

半導体リソグラフィーとウェーハ検査 (AOI/X{0}} 線)
三次元測定機 (CMM) および計測ステーション
フェムト秒およびピコ秒レーザーマイクロ-ベッド
リニアモーター多-軸 XY 位置決めガントリーステージ
ペロブスカイト太陽電池コータおよびリチウム電池検査装置

よくある質問

エアベアリングガイドには合成鉱物鋳物よりも黒御影石が好まれるのはなぜですか?

鉱物鋳物 (エポキシ花崗岩) は、CNC マシンの構造ベッドに優れた振動減衰を提供しますが、真空下で化学的に老化、クリープ、またはガスの発生を引き起こす可能性があるポリマーバインダーが含まれています。 - ミクロン未満の公差を保持する絶対基準面の場合、天然黒御影石は内部構造応力がゼロで、数十年使用しても変化しないため、地理的に優れたままです。