半導体製造では、マイクロおよびナノスケールでの位置決め精度が求められます。わずかな変形、振動、またはベンチマークのシフトにより、ウェーハのパターンが歪み、歩留まりが低下します。 UNPARALLELED グループのナノ- グレードの花崗岩コンポーネントは、半導体装置の基礎となるベンチマーク キャリアとして機能し、精密な動作と光学システムを安定させます。
まず、幾何学的基準方位。リニア モーター、エア ベアリング ステージ、光検出器、格子スケールは、比類のない花崗岩構造に取り付けられています。-精密に研削された花崗岩は、信頼性の高い幾何学的基準を作成し、ウェーハのスキャンと位置決めにおいて安定した平行度と垂直度を維持します。
2つ目は振動の抑制です。クリーンルームではポンプとその周辺機器によって微振動が発生します。-比類のない花崗岩は、振動を迅速に吸収する優れた減衰機能を備えており、ウェーハや光学レンズへの外乱を防ぎます。
第三に、熱変形の制御です。花崗岩は熱膨張が低いため、わずかな温度変化でも寸法がほとんど変化せず、長時間の連続運転時の位置ドリフトを回避します。
4 つ目は、強固な構造サポートです。大型の旅行検査システムでは、比類のない花崗岩のベースとフレームが重い光学アセンブリを運びます。高い剛性により自重によるたわみを最小限に抑え、ステージ移動時に安定した姿勢を保ちます。{3}}
クリープがなく、機械加工後の応力除去処理により、比類のない花崗岩は 24 時間 365 日の連続生産でも安定した精度を維持します。つまり、比類のないナノ-グレードの花崗岩コンポーネントは、半導体装置の安定した骨格として機能し、ナノ位置決めと光学計測を可能にします。
