ナノ検出、画像測定、半導体欠陥検査、光学干渉法などの最先端の分野では、検査プラットフォームの基準面が測定システム全体のデータの信頼性を直接決定します。精密製造がサブミクロンやナノメートルのスケールに向かって進むにつれて、従来の技術で加工された石材プラットフォームでは、ハイエンドの臨床検査や大量生産検査の要求を満たすことができなくなりました。-多くの機器メーカーは、高品質の測定センサーを装備している場合でも、搬送プラットフォームの基準面がずれると系統的な測定誤差が継続的に発生することを発見しました。したがって、ナノメートルレベルの平坦性を備えた花崗岩の検査プラットフォームを構築することは、多くの精密検査装置企業にとって重要な研究課題となっています。
超高平面度精度は、単一の機械加工プロセスでは達成できません。-これは、原材料の処理、生産環境の管理、順送研削、精密検査の調整によって実現されます。ナノスケール精度の許容範囲は非常に狭いです。このプロセスで不注意があると、満足のいく平坦度インジケーターが得られなくなります。市場に出回っているほとんどの石材加工工場は、ミクロンレベルの処理能力しか備えておらず、完全なプロセス精度制御能力がありません。- UNPARALLELED グループは、カスタムの超精密花崗岩コンポーネントに特化した長年の経験を持ち、-ハイエンドの検査装置のサポートに重点を置いています。-当社は、ナノメートル-グレードの花崗岩プラットフォーム向けの成熟した完全な製造ソリューションを開発し、長期安定した高精度の基準面ソリューションを世界中の測定機器メーカーに提供しています。-
優れた平坦度を実現するには原材料が必須です。通常の花崗岩には不均一な粒子分布と小さな自然の微小亀裂があり、連続的な加工や長期使用中に局所的な変形を引き起こしやすくなります。-当社では、自社開発の UNPARALLELED®- 高密度黒御影石を採用しており、岩粒が高密度かつ均一に分布しています。原石は入荷検査後すぐに加工に入りません。その代わりに、部分的なエイジング処理が施されています。拡張された静的保管により、自然の内部岩石応力が解放され、加工終了後のプレートの徐々に変形が防止され、時間の経過による平坦度の低下が根本的に回避されます。当社では計測-グレードの花崗岩と工学-グレードの花崗岩を厳密に区別しており、高精度の検査プラットフォームの製造に低コストの石材を使用することはありません。-
研削技術は、ナノスケールの平坦度を実現するための中核的な手順として機能し、通常の石材工房と超精密メーカーとの境界線を示します。-従来の研磨では、ミクロンレベルの精度しか達成できません。-ナノメートル基準を達成するには、段階的な多段階研削手順が必要です。-プラットフォームは、粗研削、中仕上げ研削、精密研削、最終の超精密研磨が順次行われます。-研磨材の粒径は段階的に小さくなり、前のプロセスで発生した微妙なツールマークが除去されます。すべての仕上げ作業は、クラス 10,000 の恒温、恒湿-、塵埃のない-作業場で行われます。作業場には独立した防振基礎と独立した防振溝が装備されており、外部交通や生産設備からの振動干渉を最大限に隔離し、安定した研削状態を確保します。-
花崗岩のプラットフォームが大きくなるほど、平坦度を制御するのが難しくなります。大型の統合検査プラットフォームの場合、複数のスラブを組み立てることによって生じる接合部の高さの違いを回避するために、モノリシック成形技術を優先します。お客様の図面に基づき、埋め込みねじスリーブ、配線溝、位置決め基準溝、真空吸着穴などの構造加工を事前に完了させます。すべての穴あけおよび溝入れ作業は、荒加工中に手配されます。 -仕上げ後の機械加工は応力の変動を引き起こし、超精密仕上げ面に損傷を与える可能性があります。-処理ワークフロー全体は、国際的に認められた計測規格 DIN および ASME に準拠しています。グレード 00 およびグレード 000 の超高精度のプラットフォームは、クライアントの要件に合わせてカスタマイズできます。-
包括的な段階的検査は、完了後のランダムなサンプリングだけではなく、プラットフォームの運用ワークフロー全体を通じて実行されます。各研削手順の後に、技術者は輸入された高精度レベルとレーザー干渉計を使用して平坦度を再チェックします。-すべての試験機器は、完全に追跡可能な測定データを含む計量機関によって発行された有効な校正証明書を保持しています。生産後に最終的な総合検証が行われます。ワークを一定温度下で静止させて一定時間観察します。配送は、明らかな変形がないことを確認した後にのみ手配され、提供された花崗岩プラットフォームが顧客サイトでの長期間の運用にわたってナノメートル レベルの平坦性を維持することが保証されます。-
ISOトリプルマネジメントシステム認証、CEおよびRoHS資格を保有する精密部品メーカーとして、当社は20以上の国際登録特許と商標を所有しています。当社は、半導体および光学測定分野の大手企業や海外の大学研究室との長期的なプロジェクト協力を維持しています。-花崗岩の検査プラットフォームとは別に、適合する高精度の花崗岩の Z- 軸垂直プレート、L- 型サポート、回転テーブル ベース、エア ベアリング ベース、およびその他のスペアパーツを提供できます。青島港に地理的に近いという利点を活かし、コンテナ輸送を効率的に手配し、海外のお客様への配送サイクルを短縮します。
ナノスケールでの測定では、基準データのわずかなずれも許容できません。 UNPARALLELED は、厳格な超精密製造基準を一貫して遵守しています。-プレミアム原材料、閉ループ処理ワークフロー、厳密な多段階検査システムによってサポートされている当社は、世界の精密検査業界向けに安定性の高い花崗岩リファレンス プラットフォームを製造し続けています。{{5}当社は、あらゆる種類のハイエンド検査装置が安定した正確な測定性能を達成できるよう、超精密加工技術を継続的に最適化しています。{7}