精密エアフローティング プラットフォームは、非接触エア フィルムによって摩擦のない動きを実現しており、光学検査、半導体ウェーハ処理、高精度リソグラフィ、ミクロン レベルの寸法校正などの最先端の分野で広く応用されています。{{1} -エアフローティング システムの移動真直度、平面度、繰り返し位置決め精度の長期安定性は、エア ベアリングやドライブ モジュールなどの可動コンポーネントだけでなく、基本的にプラットフォーム ベース基板の物理的特性にも依存します。-多くの機器メーカーは、-鋳鉄、アルミニウム合金、または鉱物鋳物から空中浮遊ベースを構築しようとしていますが、頻繁に熱変形、振動共振、長期基準ドリフトに遭遇しています。-このため、高密度花崗岩は、ハイエンドの精密エアフローティング プラットフォームに推奨される基板として認識されています。--
超高精度空中浮遊運動システム--では、基板は単純な耐荷重構造をはるかに超えています。-これは、ミクロンおよびナノメートルレベルの精度を維持するための中核となるベンチマークとして機能します。-ミクロン-レベルの均一な空気膜で動作するエア-フローティングプラットフォームには、基板の変形制御、耐振動性、構造の安定性に対して非常に厳しい要件が課されます。わずかな材料の変形、微小振動、または基準偏差は、空気膜バランスを直接破壊し、位置決めエラー、動作ジッター、繰り返し精度の低下を引き起こします。金属や通常の石の基材は、ハイエンドの空中浮遊装置の厳しい動作条件を満たすことができません。-{11}}対照的に、特別に選択され加工された高密度花崗岩は、超高精度の運用要求に完全に適合し、ハイエンド産業機器に不可欠なコア材料となっています。-
連続動作中に、モーターや周囲の温度と湿度の変動によって発生した熱がプラットフォームの基板に伝わります。アルミニウム合金と鋳鉄は高い熱膨張係数を特徴としており、わずかな温度変化で微妙に変形し、空気膜の均一性が乱れ、動作のジッターや位置決め精度の低下につながります。当社が自社開発した-UNPARALLELED® 高密度-黒御影石は、非常に低い熱膨張係数を備えたコンパクトで均一な内部結晶構造を誇り、熱-による変形を最小限に抑えます。優れた内部減衰性能により、機器の動作や外部環境からの振動を迅速に吸収し、共振干渉を効果的に回避します。
一部のサプライヤーは、空中浮遊プラットフォームの原材料として普通の大理石を使用しています。{0}緩い質感と自然な亀裂を持つ通常の大理石は、長期にわたる圧力と周期的な荷重によって徐々に内部応力を解放します。その結果、時間の経過とともにプラットフォームの平坦性が低下し、不均衡な空気の浮き隙間が生じます。-当社のエアフローティング プラットフォームに採用されているすべての花崗岩素材は、内部応力を完全に解放するために長期にわたる自然および人工の老化処理を受けています。-安定した密度とクリープ変形に対する耐性を特徴とするこの材料は、プラットフォームの元の幾何学的精度を永続的に保持し、後の校正とメンテナンスの頻度を大幅に削減します。
エアフローティング プラットフォームの加工には高度に専門化された職人技が必要であり、超高平面度に加え、微細なエアホール、エア供給回路、取り付けネジ穴、シール溝などの精密加工が求められます。-柔らかい普通の石は、穴あけや溝入れの際にエッジが欠けたり割れたりする傾向があります。高密度の花崗岩は、バランスの取れた硬度、構造剛性、機械加工性を実現し、複雑で不規則な構造の安定した仕上げを可能にします。 200,000 ㎡の生産拠点と、専門的な防振インフラストラクチャを備えたクラス 10,000 の恒温、恒湿-ダスト-のないワークショップによってサポートされ、当社は接合エラーを発生させることなく、大規模なエアフローティング プラットフォームの統合研削を完了します。-すべての手順は DIN、ASME、GB などの世界規格に準拠しており、ハイエンド エア フローティング システムの厳しいエアギャップ一貫性要件を満たすナノメートル レベルの平坦性を実現しています。--
納入前には精密検査が不可欠です。ドイツ、スイス、日本から完全に輸入された高精度測定器を備えたすべての校正デバイスには、完全に追跡可能なテスト データを含む計量研究所が発行した有効な証明書が保持されています。-完成した花崗岩のエアフローティング プラットフォームはすべて、平面度、真直度、平行度の包括的な検査を受けます。-また、長期使用における精度のパフォーマンスを評価するために、一定の温度条件下での長期安定性老化試験もサポートしています。-
ISO 9001、ISO 14001、ISO 45001、CE 認証に加え、EU、米国、東南アジアで登録された 20 を超える国際商標と特許に裏付けられ、当社は光学研究機関、半導体企業、海外の一流大学と長期的な技術協力を維持しています。{4}当社のカスタマイズされた花崗岩エアフローティング プラットフォーム-は、自動検査装置、ウェーハ処理システム、レーザー校正装置のメーカーに広く供給され、ヨーロッパ、アメリカ、東南アジアに輸出されています。当社は、お客様の 3D 図面に基づいた、埋め込みねじスリーブ、溝入れ、穴あけ、一体型の超精密仕上げなど、-統合エアフローティング テーブル、モーション ベース、ガントリー ビーム-の非標準カスタマイズ ソリューションを提供しています。-